| 摘要 | 第5-7页 |
| ABSTRACT | 第7-8页 |
| 第一章 绪论 | 第11-26页 |
| 1.1 课题提出的背景和意义 | 第11-14页 |
| 1.1.1 课题的研究背景 | 第11-12页 |
| 1.1.2 课题的研究意义 | 第12-14页 |
| 1.2 课题项目的来源 | 第14页 |
| 1.3 半导体晶圆制造流程 | 第14-19页 |
| 1.3.1 半导体晶圆制造工艺 | 第14-16页 |
| 1.3.2 炉管区介绍 | 第16-18页 |
| 1.3.3 半导体车间层调度的复杂性 | 第18-19页 |
| 1.4 相关领域的国内外研究现状 | 第19-24页 |
| 1.4.1 半导体晶圆混合制造过程建模技术的研究现状 | 第19-23页 |
| 1.4.2 半导体炉管区批调度的研究现状 | 第23-24页 |
| 1.5 内容安排 | 第24-26页 |
| 第二章 基于混合PETRI网的炉管区建模 | 第26-43页 |
| 2.1 OHPNS基础 | 第26-29页 |
| 2.1.1 对象子网 | 第27-28页 |
| 2.1.2 对象关系 | 第28-29页 |
| 2.2 递阶的OHPNS建模方法 | 第29-40页 |
| 2.2.1 物理对象OHPNs模型 | 第29-36页 |
| 2.2.2 制造单元OHPNs模型 | 第36-39页 |
| 2.2.3 完整OHPNs模型 | 第39-40页 |
| 2.3 炉管区建模 | 第40-42页 |
| 2.4 本章小结 | 第42-43页 |
| 第三章 基于OHPNS的炉管区动态调度体系 | 第43-55页 |
| 3.1 半导体晶圆制造系统中的动态调度 | 第43-48页 |
| 3.1.1 动态调度的概念 | 第43-45页 |
| 3.1.2 调度可用资源 | 第45-46页 |
| 3.1.3 调度约束 | 第46-48页 |
| 3.2 基于OHPNS的动态调度体系 | 第48-50页 |
| 3.3 性能评价指标 | 第50-54页 |
| 3.4 本章小结 | 第54-55页 |
| 第四章 基于PETRI网的单机动态调度 | 第55-71页 |
| 4.1 单机调度问题的PETRI网模型 | 第55-58页 |
| 4.2 基于加权成本率的动态调度算法 | 第58-63页 |
| 4.2.1 调度策略 | 第58页 |
| 4.2.2 算法流程 | 第58-63页 |
| 4.3 WCRH算法的算例 | 第63-67页 |
| 4.4 基于PETRI网的动态调度 | 第67-70页 |
| 4.5 本章小结 | 第70-71页 |
| 第五章 基于PETRI网的非等效平行机的动态调度 | 第71-86页 |
| 5.1 非等效平行机调度问题的PETRI网模型 | 第71-73页 |
| 5.2 基于PSO-WCRH的双层调度算法 | 第73-79页 |
| 5.2.1 微粒群算法 | 第74-76页 |
| 5.2.2 基于PSO的双层算法流程 | 第76-79页 |
| 5.3 PSO-WCRH双层调度算例 | 第79-83页 |
| 5.3.1 参数设定 | 第79-81页 |
| 5.3.2 结果分析 | 第81-83页 |
| 5.4 基于PETRI网的动态调度 | 第83-85页 |
| 5.5 本章小结 | 第85-86页 |
| 第六章 结论与展望 | 第86-88页 |
| 6.1 结论 | 第86页 |
| 6.2 展望 | 第86-88页 |
| 参考文献 | 第88-94页 |
| 附录 | 第94-99页 |
| 致谢 | 第99-100页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第100页 |