| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5页 |
| 第1章 绪论 | 第8-17页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题背景及研究的目的和意义 | 第8-10页 |
| 1.3 压力传感器及其相关理论的发展概况 | 第10-16页 |
| 1.3.1 传感器的发展过程及种类 | 第10页 |
| 1.3.2 压力传感器的类型及特点 | 第10-15页 |
| 1.3.3 电容式压力传感器的优点 | 第15页 |
| 1.3.4 电容式压力传感器的发展趋势 | 第15-16页 |
| 1.4 主要研究内容 | 第16-17页 |
| 第2章 电容式压力传感器的数学描述 | 第17-27页 |
| 2.1 电容式压力传感器工作原理 | 第17-22页 |
| 2.1.1 平板电容的基本原理 | 第17-18页 |
| 2.1.2 差动电容的基本原理 | 第18-19页 |
| 2.1.3 差压-位移的转换 | 第19-20页 |
| 2.1.4 球形差动电容的计算 | 第20-22页 |
| 2.2 ANSYS WORKBENCH数值模拟概述 | 第22-23页 |
| 2.3 差压电容式压力传感器结构特点及建模 | 第23页 |
| 2.4 数学模型简化及网格划分 | 第23-24页 |
| 2.5 ANSYS WORKBENCH求解 | 第24-26页 |
| 2.5.1 FEA-Pre前处理 | 第24-25页 |
| 2.5.2 FEA -Post后处理 | 第25-26页 |
| 2.6 本章小结 | 第26-27页 |
| 第3章 中心膜片的特性分析 | 第27-35页 |
| 3.1 膜片中心位移简化方程 | 第27-28页 |
| 3.2 膜片数值计算与模拟分析 | 第28-31页 |
| 3.2.1 膜片弹性特性分析 | 第28-29页 |
| 3.2.2 膜片的应变分析 | 第29页 |
| 3.2.3 膜片的应力分析 | 第29-30页 |
| 3.2.4 非线性误差分析 | 第30页 |
| 3.2.5 结构模态分析 | 第30-31页 |
| 3.3 膜片结构参数的优化设计 | 第31-34页 |
| 3.3.1 优化设计的基本要求 | 第31-32页 |
| 3.3.2 优化设计数学模型 | 第32页 |
| 3.3.3 优化设计结果分析 | 第32-34页 |
| 3.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第4章 电路设计 | 第35-49页 |
| 4.1 电容测量电路的分类 | 第35-40页 |
| 4.2 检测电路设计 | 第40-45页 |
| 4.2.1 电源计算 | 第40-41页 |
| 4.2.2 C/F转换计算 | 第41-42页 |
| 4.2.3 F/V转换计算 | 第42-43页 |
| 4.2.4 电压跟随器及滤波设计计算 | 第43-45页 |
| 4.3 电路优化 | 第45-46页 |
| 4.4 电路仿真 | 第46-48页 |
| 4.5 电路板设计及制作 | 第48页 |
| 4.6 本章小结 | 第48-49页 |
| 第5章 工程样机的制作及测试 | 第49-59页 |
| 5.1 工程样机的工艺流程 | 第49-50页 |
| 5.2 工程样机的制作 | 第50-51页 |
| 5.3 工程样机的测试及数据分析 | 第51-57页 |
| 5.3.1 工程样机测试条件 | 第51-52页 |
| 5.3.2 工程样机测试方案 | 第52-54页 |
| 5.3.3 工程样机测试结果 | 第54-57页 |
| 5.4 工程样机测试数据分析 | 第57-58页 |
| 5.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 结论 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |
| 个人简历 | 第65页 |