基于自动聚焦技术的探针台Z向距离测量系统
| 致谢 | 第4-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 1. 绪论 | 第12-21页 |
| 1.1 课题背景 | 第12-13页 |
| 1.2 探针台用途及发展概况 | 第13-15页 |
| 1.2.1 探针台用途 | 第13-14页 |
| 1.2.2 探针台发展概况 | 第14-15页 |
| 1.3 国内外研究现状 | 第15-19页 |
| 1.3.1 自动聚焦技术研究现状 | 第16-17页 |
| 1.3.2 探针台Z向距离测量技术研究现状 | 第17-19页 |
| 1.4 本文主要研究内容及结构框架 | 第19-21页 |
| 1.4.1 论文研究内容 | 第19页 |
| 1.4.2 本文框架 | 第19-21页 |
| 2. 探针台Z向距离测量系统设计 | 第21-37页 |
| 2.1 引言 | 第21页 |
| 2.2 探针台Z向距离测量系统总体设计 | 第21-28页 |
| 2.2.1 探针台系统结构及组成元件 | 第21-25页 |
| 2.2.2 探针台Z向距离测量原理 | 第25-27页 |
| 2.2.3 探针台Z向距离测量系统架构设计 | 第27-28页 |
| 2.3 视觉模块设计及选型 | 第28-32页 |
| 2.3.1 视觉模块设计 | 第28-30页 |
| 2.3.2 视觉模块选型 | 第30-32页 |
| 2.4 光源模块设计 | 第32-34页 |
| 2.5 运动控制模块设计 | 第34-36页 |
| 2.5.1 运动控制卡 | 第35页 |
| 2.5.2 步进电机及伺服驱动器 | 第35-36页 |
| 2.6 本章小结 | 第36-37页 |
| 3. 自动聚焦清晰度评价算法及其实现 | 第37-48页 |
| 3.1 引言 | 第37-38页 |
| 3.2 自动聚焦技术分析 | 第38-41页 |
| 3.2.1 自动聚焦技术基本原理 | 第38-40页 |
| 3.2.2 聚焦清晰度评价曲线分析 | 第40-41页 |
| 3.3 改进时域法图像清晰度评价函数 | 第41-45页 |
| 3.3.1 典型图像清晰度评价函数 | 第41-43页 |
| 3.3.2 改进时域法图像清晰度评价函数 | 第43-45页 |
| 3.4 实验对比分析 | 第45-47页 |
| 3.5 本章小结 | 第47-48页 |
| 4. 融合窗口选择与极值点搜索的自动聚焦加速算法 | 第48-67页 |
| 4.1 引言 | 第48页 |
| 4.2 典型聚焦窗口选择算法 | 第48-53页 |
| 4.2.1 聚焦窗口选择原则 | 第48-51页 |
| 4.2.2 典型聚焦窗口选择算法 | 第51-53页 |
| 4.3 基于灰度直方图的聚焦窗口选择算法 | 第53-55页 |
| 4.4. 一种改进的极值点搜索算法 | 第55-63页 |
| 4.4.1 典型极值点搜索算法 | 第55-58页 |
| 4.4.2 传统极值点搜索算法存在的问题 | 第58-61页 |
| 4.4.3 改进的爬山算法与曲线拟合相结合 | 第61-63页 |
| 4.5 自动聚集加速算法仿真实验分析 | 第63-66页 |
| 4.5.1 聚焦窗口选择仿真实验分祈 | 第63-65页 |
| 4.5.2 极值点搜索仿真实验分析 | 第65-66页 |
| 4.6 本章小结 | 第66-67页 |
| 5. 探针台Z向距离测量系统实现 | 第67-76页 |
| 5.1 引言 | 第67页 |
| 5.2 视觉系统像素标定 | 第67-71页 |
| 5.2.1 传统像素标定 | 第68-70页 |
| 5.2.2 主动视觉像素标定 | 第70-71页 |
| 5.3 测量系统软硬件平台搭建 | 第71-72页 |
| 5.3.1 测量系统硬件平台搭建 | 第71页 |
| 5.3.2 测量系统软件平台搭建 | 第71-72页 |
| 5.4 探针台视觉系统标定实验 | 第72-74页 |
| 5.5 基于自动聚焦的探针台Z向测距实验 | 第74-75页 |
| 5.6 本章小结 | 第75-76页 |
| 6. 总结与展望 | 第76-78页 |
| 6.1 全文总结 | 第76-77页 |
| 6.2 工作展望 | 第77-78页 |
| 参考文献 | 第78-81页 |
