LC无源湿度传感器研究及实现
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-17页 |
| ·背景介绍 | 第7页 |
| ·湿度传感器的应用及意义 | 第7-8页 |
| ·湿度传感器的发展 | 第8-9页 |
| ·湿度传感器的分类 | 第9-15页 |
| ·伸缩式的湿度传感器 | 第9-10页 |
| ·蒸发式的湿度传感器 | 第10-11页 |
| ·露点湿度传感器 | 第11-12页 |
| ·微型湿度传感器 | 第12-14页 |
| ·其它类型的湿度传感器 | 第14-15页 |
| ·本论文的主要工作 | 第15-17页 |
| 第二章 LC无源传感器原理 | 第17-27页 |
| ·LC并联谐振电路 | 第17-20页 |
| ·LC并联谐振回路的理论分析 | 第17-19页 |
| ·LC并联谐振回路在湿度传感器中的应用 | 第19-20页 |
| ·LC湿度传感器的检测原理 | 第20-22页 |
| ·聚酰亚胺的感湿机理 | 第22-24页 |
| ·湿度的表示方法 | 第22-23页 |
| ·聚酰亚胺感湿 | 第23-24页 |
| ·小结 | 第24-27页 |
| 第三章 LC无源湿度传感器的实现 | 第27-35页 |
| ·传感器的结构设计 | 第27-29页 |
| ·传感器的设计仿真 | 第29-32页 |
| ·MATLAB仿真 | 第29-30页 |
| ·HFSS简介 | 第30-31页 |
| ·传感器结构的HFSS仿真 | 第31-32页 |
| ·LC无源湿度传感器的实现 | 第32-33页 |
| ·LC并联回路的实现 | 第32-33页 |
| ·聚酰亚胺薄膜的形成 | 第33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第四章 单层金属LC无源湿度传感器 | 第35-43页 |
| ·传感器的结构设计与仿真 | 第35-38页 |
| ·湿度传感器结构 | 第35页 |
| ·MATLAB计算仿真 | 第35-37页 |
| ·HFSS仿真 | 第37-38页 |
| ·传感器的工艺实现 | 第38页 |
| ·湿度传感器的测试结果及分析 | 第38-41页 |
| ·湿度传感器的测试 | 第38-40页 |
| ·测试结果及分析 | 第40-41页 |
| ·本章小结 | 第41-43页 |
| 第五章 基于LTCC的LC无源湿度传感器 | 第43-59页 |
| ·LTCC技术简介 | 第43-49页 |
| ·LTCC技术工艺流程 | 第43-47页 |
| ·LTCC技术的特点及局限性 | 第47-49页 |
| ·基于LTCC技术的电感 | 第49-53页 |
| ·电感的性能指标 | 第49-50页 |
| ·常用的埋置电感 | 第50-52页 |
| ·垂直螺旋电感 | 第52-53页 |
| ·基于LTCC的无源LC传感器实现 | 第53-58页 |
| ·传感器结构设计 | 第53-54页 |
| ·平面叉指电容设计 | 第54-55页 |
| ·垂直螺旋电感设计 | 第55-57页 |
| ·传感器仿真 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第六章 总结 | 第59-61页 |
| 致谢 | 第61-63页 |
| 参考文献 | 第63-67页 |
| 硕士期间取得的成果 | 第67-68页 |
