| 第一章 绪论 | 第1-17页 |
| ·半导体集成电路的最终测试在半导体制造中的重要地位 | 第7-8页 |
| ·半导体最终测试设备的发展现状 | 第8-13页 |
| ·半导体产品及其测试系统的分类 | 第9-10页 |
| ·数字信号测试系统的发展状况 | 第10-11页 |
| ·半导体器件的封装类型 | 第11-12页 |
| ·测试机的分类和发展趋势 | 第12-13页 |
| ·课题产生的背景和现实意义 | 第13-15页 |
| ·课题产生的背景 | 第13-14页 |
| ·技术和经济条件的可行性 | 第14页 |
| ·研制条式并行测试机的意义 | 第14-15页 |
| ·论文研究的内容 | 第15-17页 |
| ·工作内容 | 第15页 |
| ·论文研究的内容 | 第15-17页 |
| 第二章 测试机各关键模块创建时的结构比较 | 第17-27页 |
| ·数字产品的并行测试与其测试成本的关系 | 第17-19页 |
| ·测试机(Handler)对器件的粒式传送和条式传送方式的分析比较 | 第19-24页 |
| ·器件粒式传送的测试机和器件条式传送的测试机 | 第20页 |
| ·器件粒式传送的测试机测试产出(UPH)的瓶颈 | 第20-22页 |
| ·器件条式传送的测试机的 Index Time | 第22-23页 |
| ·条式并行测试机的优势和局限性 | 第23-24页 |
| ·仓式预热与板式预热方式的分析比较 | 第24-25页 |
| ·测后次品分拣模块的形式及其性能分析比较 | 第25-27页 |
| 第三章 条式并行测试机总体架构的建立及相应封装测试工艺的变化 | 第27-32页 |
| ·半导体测试生产线的满载生产对测试机设计的要求 | 第27页 |
| ·条式并行测试机总体优化架构对测试生产要求的满足 | 第27-30页 |
| ·条式测试机相应的封装测试工艺的变化 | 第30-32页 |
| 第四章 条式测试机核心部分的机构设计 | 第32-44页 |
| ·PnP 条式测试机的机构设计要求 | 第32-34页 |
| ·由功能要求产生的测试机各机构子模块 | 第32页 |
| ·测试机的机构布局和运行流程 | 第32-34页 |
| ·各个机构机构子模块的设计 | 第34-42页 |
| ·x-y-z-θ四坐标移动平台(Thermal Stage)机构 | 第34-36页 |
| ·x-y-z 三座标抓放式机械手(Pick and Place)机构 | 第36-37页 |
| ·条式物料传送轨道、预热保温结构、z 推进器机构 | 第37-38页 |
| ·测试接触器(Contactor)的结构设计 | 第38-42页 |
| ·PnP 条式测试机的机构设计总结 | 第42-44页 |
| 第五章 板式预热(预冷)温控模块实验研究 | 第44-55页 |
| ·板式预热系统的参数化实验 | 第44-49页 |
| ·参数化实验设备 | 第44-47页 |
| ·板式预热系统的参数化实验过程 | 第47-49页 |
| ·板式预热系统参数化实验的结果和分析 | 第49-54页 |
| ·RTD 的测量阻值与相应温度值的转换 | 第49-50页 |
| ·实验结果的图表和曲线 | 第50-53页 |
| ·板式预热系统参数化实验的结果分析 | 第53-54页 |
| ·板式预热系统参数化实验的结论 | 第54-55页 |
| 第六章 测后电性次品分拣模块的最终设计 | 第55-65页 |
| ·次品分拣模块设计的历程 | 第55-58页 |
| ·集成电路产品的封装形式及其条式测试工艺的发展变化 | 第55-56页 |
| ·次品分拣模块目前解决方案和最终解决方案 | 第56-58页 |
| ·临时解决方案 --- 次品 PUNCH-OUT 模块的详细结构设计 | 第58-61页 |
| ·次品的 PUNCH-OUT 机构(SOIC28 框架，器件 4x8 部局) | 第58-60页 |
| ·PUNCH-OUT 和 PUNCH-CHECK 可靠性试验和结果 | 第60-61页 |
| ·次品分拣的最终解决方案 --- 2D 点阵码应用的可靠性研究 | 第61-65页 |
| ·2D 点阵及其激光设备和读码器 | 第61-62页 |
| ·2D 点阵码在不同材料上的刻蚀和读取的可靠性实验设计 | 第62-63页 |
| ·2D 点阵码(2D Dot Code)DOE 优化后的参数和结论 | 第63-65页 |
| 第七章 条式物料弹匣自动上下料机设计 | 第65-69页 |
| ·条式物料弹匣自动上料机和下料机的设计要求 | 第65页 |
| ·条式物料弹匣自动上料机和下料机的机构设计 | 第65-68页 |
| ·下料机的机构 | 第66页 |
| ·下料机的工作流程图 | 第66-67页 |
| ·上料机和下料机设计特点总结 | 第67-68页 |
| ·自动上料机和下料机与条式测试机的联机 | 第68-69页 |
| 第八章 总结与展望 | 第69-72页 |
| ·结论 | 第69-70页 |
| ·展望 | 第70-72页 |
| 参考文献 | 第72-74页 |
| 发表论文和科研获奖情况说明 | 第74-75页 |
| 致谢 | 第75页 |
