手动式探针仪的自动化改造
| 摘要 | 第1-4页 |
| abstract | 第4-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-12页 |
| ·课题研究背景 | 第8-9页 |
| ·数字式探针仪国内外研究历史和现状 | 第9-11页 |
| ·国外探针仪的历史和现状 | 第9-10页 |
| ·国内探针仪的历史和现状 | 第10页 |
| ·探针测试的发展前景 | 第10-11页 |
| ·论文主要内容 | 第11-12页 |
| 第二章 探针仪的总体机械结构设计 | 第12-26页 |
| ·探针仪的应用原理 | 第12-14页 |
| ·数字式探针仪总体结构的仿真设计 | 第14-17页 |
| ·测控仪器的设计原则 | 第15-16页 |
| ·探针测试系统的技术要求 | 第16-17页 |
| ·机械系统的设计 | 第17-24页 |
| ·总体设计 | 第17-19页 |
| ·机械器件的设计 | 第19-21页 |
| ·丝杠螺母机构简介 | 第21-22页 |
| ·导轨的选择 | 第22-24页 |
| ·误差分析 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第三章 控制系统的设计 | 第26-37页 |
| ·控制系统总体设计 | 第26-27页 |
| ·步进电机及驱动器 | 第27-30页 |
| ·运动控制卡和光栅的选择 | 第30-35页 |
| ·运动控制卡简介 | 第30-33页 |
| ·控制卡的选择 | 第33-34页 |
| ·光栅的选择 | 第34-35页 |
| ·步进电机的计算机控制 | 第35-36页 |
| ·步进电机的运行速度控制 | 第35页 |
| ·VC++实现控制的方法 | 第35-36页 |
| ·本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 视觉显微系统 | 第37-44页 |
| ·视觉系统的工作原理 | 第37-40页 |
| ·CCD 图像传感器 | 第37页 |
| ·摄影物镜 | 第37-40页 |
| ·视觉系统结构设计 | 第40-42页 |
| ·总体设计方案 | 第40-41页 |
| ·显微放大部分 | 第41-42页 |
| ·数据处理的实现 | 第42-43页 |
| ·数据处理技术 | 第42页 |
| ·数据处理方法 | 第42-43页 |
| ·视觉系统的误差分析 | 第43页 |
| ·本章小结 | 第43-44页 |
| 第五章 工作台的装配与系统的试验运行 | 第44-54页 |
| ·工作台的装配与检定 | 第44-50页 |
| ·工作台的装配 | 第44-45页 |
| ·工作台的装调与精度检定 | 第45-50页 |
| ·系统的试验运行 | 第50-53页 |
| ·总体坐标的建立 | 第50-51页 |
| ·系统运行过程分析 | 第51-52页 |
| ·试验运行及结果分析 | 第52-53页 |
| ·探针测试台的维修与保养 | 第53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第六章 课题总结与展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 发表论文和科研情况说明 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60页 |
