| 中文摘要 | 第1-4页 |
| 英文摘要 | 第4-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题背景 | 第9-12页 |
| ·本课题的主要任务 | 第12-14页 |
| ·国内外研究现状 | 第14-15页 |
| ·测量方案的确定 | 第15-17页 |
| ·需要解决的关键技术问题 | 第17-18页 |
| ·本论文的主要创新点 | 第18-20页 |
| 第二章 在线监测系统总体设计研究 | 第20-46页 |
| ·在线监测系统构成的分析研究 | 第20-25页 |
| ·在线监测系统总体构成 | 第20-21页 |
| ·在线监测系统硬件构成分析 | 第21-23页 |
| ·在线监测系统软件构成分析 | 第23-24页 |
| ·在线监测系统设计工作流程 | 第24-25页 |
| ·在线监测系统结构设计研究 | 第25-42页 |
| ·总体结构设计研究 | 第25-30页 |
| ·支撑组件 | 第30-33页 |
| ·X 向运动组件 | 第33页 |
| ·Y 向运动组件 | 第33-34页 |
| ·Z 向运动组件 | 第34-36页 |
| ·配重组件 | 第36-42页 |
| ·运动控制子系统设计研究 | 第42-45页 |
| ·本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 激光共焦测量子系统 | 第46-83页 |
| ·激光共焦测头测量原理 | 第46-47页 |
| ·共焦测头测量光路的改进研究 | 第47-57页 |
| ·新型测头振动透镜位移量和系统焦平面位移量之间的函数关系 | 第57-61页 |
| ·小孔光阑偏离理想位置时的影响分析 | 第61-66页 |
| ·对光电探测器接收到的光强大小的影响 | 第61-63页 |
| ·对测量结果的影响分析 | 第63-66页 |
| ·新型共焦测头的结构设计研究 | 第66-70页 |
| ·光电信号处理算法改进研究 | 第70-82页 |
| ·本章小结 | 第82-83页 |
| 第四章 显微图像测量子系统 | 第83-93页 |
| ·显微图像测量子系统总体设计研究 | 第83-87页 |
| ·显微图像系统构成 | 第83-84页 |
| ·CCD 相机和显微镜头 | 第84-85页 |
| ·照明装置 | 第85-87页 |
| ·软件系统 | 第87页 |
| ·显微图像测量子系统测量方法研究 | 第87-89页 |
| ·直线测量 | 第88页 |
| ·圆的测量 | 第88-89页 |
| ·CCD 相机的标定 | 第89-92页 |
| ·本章小结 | 第92-93页 |
| 第五章 在线监测系统的精度研究和系统标定 | 第93-113页 |
| ·三维运动平台运动精度检测 | 第93-101页 |
| ·运动直线度误差的检测 | 第93-96页 |
| ·角运动误差的检测 | 第96-99页 |
| ·垂直度误差的检测 | 第99-101页 |
| ·在线监测系统数学模型的建立 | 第101-105页 |
| ·测量不确定度分析 | 第105-107页 |
| ·激光共焦测量子系统标定 | 第107-112页 |
| ·两路共焦测头的对准调整 | 第107-111页 |
| ·两个激光共焦测头坐标系的标定 | 第111-112页 |
| ·本章小结 | 第112-113页 |
| 第六章 实验数据处理与分析 | 第113-126页 |
| ·激光共焦测头精度实验 | 第113-117页 |
| ·测量不确定度实验 | 第113-114页 |
| ·测量重复性实验 | 第114-116页 |
| ·测量角度范围实验 | 第116-117页 |
| ·显微图像测量子系统标定实验 | 第117-119页 |
| ·单个CCD 相机放大倍数标定 | 第117-118页 |
| ·两个CCD 相机坐标系标定 | 第118-119页 |
| ·两个共焦测头测量坐标系标定实验 | 第119-126页 |
| ·以量块为标定物 | 第119-123页 |
| ·以标准球为标定物 | 第123-126页 |
| 第七章 总结与展望 | 第126-129页 |
| ·所做工作概述 | 第126-127页 |
| ·存在的问题及改进的方向 | 第127-129页 |
| 参考文献 | 第129-135页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第135-136页 |
| 致谢 | 第136页 |