| 摘要 | 第1-6页 |
| ABSTRACT | 第6-10页 |
| 第1章 绪论 | 第10-17页 |
| ·课题背景及研究的目的和意义 | 第10页 |
| ·湿度传感器的研究现状 | 第10-12页 |
| ·各类湿敏传感器 | 第11页 |
| ·国内外研究现状 | 第11-12页 |
| ·厚膜技术 | 第12页 |
| ·锂霞石用于湿度敏感传感器 | 第12-14页 |
| ·锂霞石的晶体结构 | 第12-13页 |
| ·锂霞石作为湿度敏感传感器的研究现状 | 第13-14页 |
| ·金属氧化物-陶瓷湿度传感器机理研究 | 第14-15页 |
| ·金属氧化物表面水分子吸附机理 | 第14-15页 |
| ·老化机理 | 第15页 |
| ·本课题主要研究的内容 | 第15-17页 |
| 第2章 试验材料与方法 | 第17-22页 |
| ·实验药品 | 第17页 |
| ·试验方法 | 第17-19页 |
| ·激光粒度仪 | 第17页 |
| ·物相分析 | 第17-18页 |
| ·显微组织观察 | 第18页 |
| ·孔径率及比表面积分析 | 第18页 |
| ·交流阻抗分析 | 第18-19页 |
| ·湿度环境的建立 | 第19-22页 |
| 第3章 锂霞石湿度元件的制备 | 第22-32页 |
| ·锂霞石湿度敏感粉体的制备 | 第22-23页 |
| ·锂霞石溶胶粘结剂的制备 | 第23-27页 |
| ·敏感材料的制备 | 第27-29页 |
| ·湿度敏感元件的制备 | 第29-31页 |
| ·本章小结 | 第31-32页 |
| 第4章 锂霞石湿度敏感元件的测试与分析 | 第32-54页 |
| ·元件微观组织结构分析 | 第32-35页 |
| ·比表面积和孔隙度 | 第35-36页 |
| ·测试频率和电压的选择 | 第36-39页 |
| ·敏感性能分析 | 第39-41页 |
| ·热处理工艺对锂霞石湿敏元件的湿敏性能的影响 | 第41-45页 |
| ·不同热处理温度对湿度敏感性能的影响 | 第41-44页 |
| ·不同热处理时间对湿度敏感性能的影响 | 第44-45页 |
| ·锂霞石溶胶粘结剂含量与颗粒大小对湿度敏感性能的影响 | 第45-49页 |
| ·锂霞石溶胶粘结剂含量对湿度敏感性能的影响 | 第45-47页 |
| ·锂霞石颗粒对湿度敏感性能的影响 | 第47-49页 |
| ·涂覆厚度对湿度敏感性能的影响 | 第49-51页 |
| ·老化对湿度敏感性能的影响 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-54页 |
| 结论 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-60页 |
| 致谢 | 第60页 |