| 摘要 | 第3-4页 |
| Abstract | 第4-5页 |
| 第一章 绪论 | 第8-16页 |
| 1.1 位移精密测量的趋势 | 第8-10页 |
| 1.2 激光自混合干涉效应的原理、特点 | 第10-11页 |
| 1.3 激光自混合干涉效应的位移精密测量研究 | 第11-13页 |
| 1.4 课题来源、本文研究意义及内容 | 第13-16页 |
| 第二章 基于时域正交解调的实时位移测量技术 | 第16-39页 |
| 2.1 前言 | 第16页 |
| 2.2 实时位移测量原理 | 第16-17页 |
| 2.3 时域正交解调技术及仿真 | 第17-20页 |
| 2.4 时域正交解调硬件系统的设计与实现 | 第20-31页 |
| 2.4.1 DDS信号源的设计 | 第21-28页 |
| 2.4.2 乘法器的设计 | 第28-29页 |
| 2.4.3 低通模块的设计 | 第29-31页 |
| 2.5 硬件系统解调结果 | 第31页 |
| 2.6 LabVIEW位移解调实时重构系统的开发 | 第31-38页 |
| 2.6.1 程序架构的实现 | 第32-33页 |
| 2.6.2 系统子程序设计 | 第33-38页 |
| 2.7 本章小结 | 第38-39页 |
| 第三章 干涉仪样机位移测试及对商用位移传感器的校准 | 第39-50页 |
| 3.1 前言 | 第39页 |
| 3.2 干涉仪位移测量实验装置及结果分析 | 第39-43页 |
| 3.2.1 干涉仪样机的光路系统 | 第39页 |
| 3.2.2 干涉仪样机的信号处理系统 | 第39页 |
| 3.2.3 PI精密导轨标定实验 | 第39-43页 |
| 3.3 传感器校准理论 | 第43-45页 |
| 3.4 线性位移传感器及校准系统简介 | 第45-49页 |
| 3.4.1 传感器校准系统 | 第45-46页 |
| 3.4.2 校准结果 | 第46-49页 |
| 3.5 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 反射相移型激光自混合干涉仪的大量程实时位移测量技术 | 第50-59页 |
| 4.1 前言 | 第50页 |
| 4.2 基本原理及仿真 | 第50-54页 |
| 4.2.1 系统结构图 | 第50页 |
| 4.2.2 弱反馈条件下的激光自混合效应 | 第50-52页 |
| 4.2.3 电子细分原理简介 | 第52-54页 |
| 4.3 实验装置及软件 | 第54-56页 |
| 4.4 实验结果与分析 | 第56-58页 |
| 4.4.1 实验结果 | 第57页 |
| 4.4.2 数据分析 | 第57-58页 |
| 4.5 本章小结 | 第58-59页 |
| 第五章 总结与展望 | 第59-60页 |
| 附录 | 第60-63页 |
| 参考文献 | 第63-66页 |
| 读研期间发表论文、获得荣誉及参与项目工作 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |