| 摘要 | 第4-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第12-19页 |
| 1.1 研究背景及意义 | 第12-14页 |
| 1.1.1 课题研究背景 | 第12-13页 |
| 1.1.2 课题研究意义 | 第13-14页 |
| 1.2 多组合设备调度问题概述 | 第14-17页 |
| 1.2.1 单组合设备的结构与运行 | 第14-15页 |
| 1.2.2 多组合设备的结构与运行 | 第15页 |
| 1.2.3 组合设备调度问题研究现状 | 第15-17页 |
| 1.3 本课题研究内容 | 第17-18页 |
| 1.3.1 课题来源 | 第17-18页 |
| 1.3.2 研究内容 | 第18页 |
| 1.4 本章小结 | 第18-19页 |
| 第二章 基于Petri网的多组合设备建模 | 第19-29页 |
| 2.1 Petri网概述 | 第19-22页 |
| 2.1.1 引言 | 第19页 |
| 2.1.2 有限容量PN | 第19-21页 |
| 2.1.3 ROPN | 第21-22页 |
| 2.2 缓冲容量为2的树形多组合设备的ROPN模型 | 第22-28页 |
| 2.2.1 晶圆加工流程建模 | 第22-24页 |
| 2.2.2 K-组合设备建模 | 第24-27页 |
| 2.2.3 活动时间的建模 | 第27-28页 |
| 2.3 本章小结 | 第28-29页 |
| 第三章 树形K-组合设备的调度 | 第29-37页 |
| 3.1 单组合设备的调度 | 第29-30页 |
| 3.2 K-组合设备的调度 | 第30-36页 |
| 3.2.1 可调度性分析 | 第30-33页 |
| 3.2.2 调度算法 | 第33-34页 |
| 3.2.3 实例验证 | 第34-36页 |
| 3.3 本章小结 | 第36-37页 |
| 第四章 树形K-组合设备缓冲空间结构优化 | 第37-50页 |
| 4.1 系统建模 | 第37-38页 |
| 4.2 可调度性和最优性分析 | 第38-42页 |
| 4.3 调度算法 | 第42-49页 |
| 4.3.1 设备链的定义 | 第42页 |
| 4.3.2 设备链的调度 | 第42-46页 |
| 4.3.3 K-组合设备的调度 | 第46-48页 |
| 4.3.4 实例 | 第48-49页 |
| 4.4 本章小结 | 第49-50页 |
| 结论与展望 | 第50-52页 |
| 结论 | 第50页 |
| 展望 | 第50-52页 |
| 参考文献 | 第52-56页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第56-58页 |
| 致谢 | 第58页 |