基于显微光杠杆技术的微梁结构偏转角测量系统
| 摘要 | 第4-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 课题背景 | 第9-10页 |
| 1.2 角度测量的主要方法及国内外研究现状 | 第10-16页 |
| 1.2.1 机械与电磁测角技术 | 第10-11页 |
| 1.2.2 光学测角技术 | 第11-16页 |
| 1.3 课题研究的主要内容与总体方案设计 | 第16-19页 |
| 第二章 显微光杠杆设计 | 第19-29页 |
| 2.1 光路设计基本原理 | 第19-20页 |
| 2.2 显微光杠杆光路设计 | 第20-22页 |
| 2.3 元器件选择 | 第22-29页 |
| 2.3.1 光源选择 | 第22-23页 |
| 2.3.2 光电探测器选择 | 第23-27页 |
| 2.3.3 其它主要元件选择 | 第27-29页 |
| 第三章 电流模式 QPD 读出电路设计 | 第29-41页 |
| 3.1 电压模式与电流模式电路 | 第29-30页 |
| 3.2 电流模式电路基础单元 | 第30-35页 |
| 3.2.1 电流镜 | 第31-32页 |
| 3.2.2 减法器 | 第32页 |
| 3.2.3 归一化及放大电路 | 第32-35页 |
| 3.3 电流模式 QPD 读出电路设计 | 第35-38页 |
| 3.3.1 二象限探测器读出电路 | 第35-36页 |
| 3.3.2 QPD 读出电路 | 第36-37页 |
| 3.3.3 元器件选择 | 第37-38页 |
| 3.4 电路带宽与噪声分析 | 第38-41页 |
| 第四章 基于 LABVIEW 的系统软件设计 | 第41-45页 |
| 4.1 数据采集处理程序设计 | 第41页 |
| 4.2 电动位移台控制程序设计 | 第41-43页 |
| 4.3 人机交互界面 | 第43-45页 |
| 第五章 系统评价实验 | 第45-53页 |
| 5.1 四象限探测器灵敏度测试 | 第45-46页 |
| 5.2 系统带宽评价实验 | 第46-50页 |
| 5.3 微悬臂梁偏转角测量 | 第50-53页 |
| 第六章 总结与展望 | 第53-55页 |
| 6.1 总结 | 第53-54页 |
| 6.2 课题展望 | 第54-55页 |
| 参考文献 | 第55-59页 |
| 发表论文和参加科研情况说明 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
