专用多轴运动控制卡及其控制算法的研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 目录 | 第6-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-18页 |
| ·课题背景与实际意义 | 第9-10页 |
| ·国内外光刻机发展概况 | 第10-11页 |
| ·国内外伺服理论的发展 | 第11-17页 |
| ·高精度伺服控制的模块化 | 第11-12页 |
| ·国内外对双自由度闭环控制的研究现状 | 第12-13页 |
| ·国内外对前馈控制的研究现状 | 第13-14页 |
| ·国内外对摩擦模型的研究现状 | 第14-17页 |
| ·本文的研究内容 | 第17-18页 |
| 第2章 工件平台控制方法 | 第18-26页 |
| ·工件平台控制特点 | 第18-19页 |
| ·闭环控制器设计理论 | 第19-23页 |
| ·扰动观测器原理 | 第19-21页 |
| ·扰动观测器稳定性分析 | 第21-23页 |
| ·前馈控制器设计理论 | 第23-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 运动控制卡的硬件设计 | 第26-39页 |
| ·运动控制卡硬件总体方案 | 第26-29页 |
| ·传统运动控制卡的特点分析 | 第26页 |
| ·多轴专用运动控制卡的设计特点 | 第26-27页 |
| ·硬件设计总体方案设计 | 第27-29页 |
| ·板上电源、稳压与保护设计 | 第29-30页 |
| ·系统功耗分析与电源接入 | 第29-30页 |
| ·电路的稳压与保护设计 | 第30页 |
| ·运动控制卡的外围设备接口设计 | 第30-35页 |
| ·接口分析 | 第30-31页 |
| ·VME接入设计 | 第31-34页 |
| ·光纤模块接入设计 | 第34-35页 |
| ·多串口接入设计 | 第35页 |
| ·运算单元与逻辑控制单元的互联与扩展设计 | 第35-38页 |
| ·DSP和FPGA的配置管理和故障诊断 | 第35-36页 |
| ·DSP与FPGA的总线连接 | 第36-37页 |
| ·DSP与FPGA的存储扩展 | 第37-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 运动控制卡的逻辑设计 | 第39-59页 |
| ·FPGA逻辑的总体方案 | 第39-40页 |
| ·双口RAM软核的时序特征 | 第40-42页 |
| ·EMIF64 接口逻辑设计 | 第42-46页 |
| ·EMIF64 接口逻辑特点 | 第42-43页 |
| ·EMIF64 接口逻辑设计 | 第43-45页 |
| ·EMIF64 逻辑设计结果仿真与实验波形 | 第45-46页 |
| ·VME总线接口逻辑设计 | 第46-49页 |
| ·VME总线逻辑特点 | 第46-47页 |
| ·VME总线接口数据传输基本波形 | 第47页 |
| ·VME总线接口状态机设计 | 第47-48页 |
| ·VME总线逻辑设计结果仿真与实验波形 | 第48-49页 |
| ·采用 2eVME协议的VME64x接口逻辑设计 | 第49-52页 |
| ·2eVME协议简介与波形 | 第49-50页 |
| ·2eVME接口状态机设计 | 第50-51页 |
| ·2eVME协议接口仿真 | 第51-52页 |
| ·VME自定义总线接口逻辑设计 | 第52-53页 |
| ·VME自定义总线逻辑特点与波形 | 第52-53页 |
| ·VME自定义总线接口设计 | 第53页 |
| ·VME自定义总线逻辑设计结果仿真与实验波形 | 第53页 |
| ·光纤接口逻辑设计 | 第53-56页 |
| ·光纤接口逻辑特点与波形 | 第53-54页 |
| ·光纤接口逻辑 | 第54-55页 |
| ·光纤逻辑设计结果仿真与实验波形 | 第55-56页 |
| ·串口接口逻辑设计 | 第56-58页 |
| ·串口接口逻辑特点与波形 | 第56页 |
| ·串口接口状态机设计 | 第56-57页 |
| ·串口逻辑设计结果仿真与实验波形 | 第57-58页 |
| ·本章小结 | 第58-59页 |
| 第5章 实验平台建模与实验 | 第59-74页 |
| ·宏动平台建模与实验 | 第59-69页 |
| ·长行程直线电机及其驱动器参数 | 第59页 |
| ·气浮平台摩擦建模 | 第59-60页 |
| ·宏动平台的速度环估计 | 第60-61页 |
| ·测试曲线设计 | 第61-62页 |
| ·宏动平台的双闭环控制器设计 | 第62-66页 |
| ·宏动平台的前馈控制器设计 | 第66-69页 |
| ·微动台参数与双台耦合影响分析 | 第69-70页 |
| ·运动控制卡宏动平台控制实验 | 第70-73页 |
| ·本章小结 | 第73-74页 |
| 结论 | 第74-75页 |
| 参考文献 | 第75-79页 |
| 攻读硕士期间发表的学术论文 | 第79页 |
| 攻读硕士期间申请的专利 | 第79-81页 |
| 致谢 | 第81页 |
