硅片预对准机器人视觉系统研究
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-10页 |
| 引言 | 第10-12页 |
| 1 绪论 | 第12-24页 |
| ·硅片预对准机器人概述 | 第12-15页 |
| ·硅片预对准机器人原理 | 第12页 |
| ·硅片预对准机器人发展阶段 | 第12-15页 |
| ·工业视觉系统概述 | 第15-16页 |
| ·工业视觉系统结构原理 | 第15页 |
| ·工业视觉系统分类及应用 | 第15-16页 |
| ·硅片预对准机器人视觉系统概述 | 第16-18页 |
| ·视觉系统原理及构成 | 第16页 |
| ·视觉系统关键技术 | 第16-18页 |
| ·硅片预对准机器人视觉系统国内外研究现状及趋势 | 第18-22页 |
| ·国外几种硅片预对准机器人视觉系统 | 第18-21页 |
| ·国内对于硅片预对准机器人视觉系统的研究与应用 | 第21-22页 |
| ·硅片预对准机器人视觉系统发展趋势 | 第22页 |
| ·课题的主要工作及研究内容 | 第22-24页 |
| ·课题来源 | 第22页 |
| ·主要工作和研究内容 | 第22-24页 |
| 2 硅片预对准机器人视觉系统研究基础 | 第24-28页 |
| ·硅片预对准机器人机械本体 | 第24-25页 |
| ·旋转承片单元 | 第24-25页 |
| ·水平对心单元 | 第25页 |
| ·硅片预对准机器人预对准原理 | 第25-26页 |
| ·硅片预对准机器人预对准技术指标 | 第26-27页 |
| ·本章小结 | 第27-28页 |
| 3 硅片预对准机器人视觉系统总体方案设计 | 第28-41页 |
| ·视觉系统工作原理设计 | 第28-32页 |
| ·光信息采集原理设计 | 第28-29页 |
| ·硅片边缘标定原理设计 | 第29-32页 |
| ·视觉系统总体方案设计 | 第32-37页 |
| ·背景光投射单元设计 | 第33-34页 |
| ·信息采集单元设计 | 第34-35页 |
| ·运算处理单元设计 | 第35页 |
| ·运动执行单元设计 | 第35-37页 |
| ·视觉系统技术要求 | 第37-40页 |
| ·光束均匀度 | 第37-38页 |
| ·信号采集精度 | 第38页 |
| ·A/D转换精度 | 第38-39页 |
| ·步进电机工作精度 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 4 硅片预对准机器人视觉系统硬件设计 | 第41-61页 |
| ·背景光投射系统 | 第41-42页 |
| ·信息采集系统 | 第42-49页 |
| ·CCD外围驱动电路 | 第42-45页 |
| ·CPLD时序信号发生电路 | 第45-49页 |
| ·数据转换处理系统 | 第49-51页 |
| ·信号采样模式 | 第49-50页 |
| ·光信号的A/D转换 | 第50页 |
| ·运算处理单元“计数”的设计 | 第50-51页 |
| ·信号的转接 | 第51页 |
| ·运动执行系统 | 第51-60页 |
| ·系统执行部件 | 第51-53页 |
| ·系统运动控制 | 第53-59页 |
| ·系统总体 | 第59-60页 |
| ·本章小结 | 第60-61页 |
| 5 硅片预对准机器人视觉系统软件设计 | 第61-70页 |
| ·视觉系统驱动和单元功能设计 | 第61-66页 |
| ·线阵CCD驱动脉冲设计 | 第61-64页 |
| ·运算处理单元“计值”的设计 | 第64-65页 |
| ·A/D工作时序设计 | 第65页 |
| ·系统驱动和单元功能设计软件环境 | 第65-66页 |
| ·视觉系统控制主程序 | 第66-68页 |
| ·用户控制界面 | 第68-69页 |
| ·本章小结 | 第69-70页 |
| 6 硅片边缘数据处理算法 | 第70-75页 |
| ·硅片边缘数据拟合 | 第70-71页 |
| ·硅片特征位置提取 | 第71-74页 |
| ·本章小结 | 第74-75页 |
| 结论 | 第75-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 附录A 硅片预对准机器人视觉系统采集电路原理图 | 第80-81页 |
| 附录B 硅片预对准机器人视觉系统硬件实物图 | 第81-82页 |
| 附录C 硅片预对准机器人总体实物图 | 第82-83页 |
| 附录D 国家发明专利申请书 | 第83-84页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第84-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
