全自动硅单晶炉总线型控制系统研究与设计
| 摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-7页 |
| 1 绪论 | 第7-17页 |
| ·引言 | 第7页 |
| ·直拉硅单晶炉的发展及研究现状 | 第7-11页 |
| ·直拉硅单晶炉概述 | 第7-8页 |
| ·国内外单晶炉发展现状 | 第8-11页 |
| ·工业现场总线技术 | 第11-14页 |
| ·工业现场总线的概念与发展历程 | 第11页 |
| ·现今流行的工业现场总线 | 第11-13页 |
| ·现场总线控制系统的结构与特点 | 第13-14页 |
| ·论文的研究背景与意义 | 第14-15页 |
| ·论文内容 | 第15-17页 |
| 2 CAN总线与CANopen协议 | 第17-25页 |
| ·CAN总线 | 第17-18页 |
| ·CAN总线的发展与特点 | 第17页 |
| ·CAN总线的报文格式 | 第17-18页 |
| ·CAN总线与CANopen协议 | 第18-20页 |
| ·CANopen协议 | 第20-25页 |
| ·CANopen设备模型 | 第20页 |
| ·预定义的连接 | 第20-22页 |
| ·对象字典 | 第22页 |
| ·CANopen通讯 | 第22-25页 |
| 3 单晶炉总线型控制系统设计 | 第25-29页 |
| ·单晶炉系统结构 | 第25页 |
| ·单晶炉电气系统设计 | 第25-29页 |
| 4 CANopen协议的研究与实现 | 第29-37页 |
| ·研究环境设计搭建 | 第29-31页 |
| ·硬件配置 | 第29-31页 |
| ·软件配置 | 第31页 |
| ·CANopen协议消息语法细节 | 第31-35页 |
| ·CANopen协议的软件框架 | 第35-37页 |
| 5 单晶炉总线型从站设计 | 第37-49页 |
| ·提拉头CANopen接口从站设计 | 第37-43页 |
| ·提拉头部分组件结构 | 第37页 |
| ·提拉头部分总线化缘由 | 第37-38页 |
| ·提拉头从站设计要求 | 第38页 |
| ·晶体称重电路 | 第38-40页 |
| ·晶体称重传感器 | 第38-39页 |
| ·称重信号测量电路 | 第39-40页 |
| ·籽晶液面接触测量电路 | 第40-41页 |
| ·通讯部分设计 | 第41-42页 |
| ·提拉头CANopen接口从站 | 第42页 |
| ·小结 | 第42-43页 |
| ·总线型伺服电机驱动从站设计 | 第43-49页 |
| ·伺服电机驱动部分总线化的缘由 | 第43-44页 |
| ·伺服电机从站的设计要求 | 第44页 |
| ·伺服电机从站设计 | 第44页 |
| ·伺服电机测速电路 | 第44-46页 |
| ·伺服电机速度给定电路 | 第46页 |
| ·总线型伺服电机从站 | 第46-47页 |
| ·小结 | 第47-49页 |
| 6 单晶炉冷却水测量系统设计 | 第49-57页 |
| ·冷却水系统概述 | 第49页 |
| ·单晶炉冷却水测量系统现状 | 第49-50页 |
| ·冷却水测量系统设计 | 第50-57页 |
| ·温度传感器 | 第50-51页 |
| ·DS18B20温度传感器 | 第51-54页 |
| ·冷却水温度测量系统硬件设计 | 第54-57页 |
| 7 总结与展望 | 第57-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 作者在攻读硕士期间所发表的论文 | 第60-61页 |
| 参考文献 | 第61-62页 |
