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磷掺杂ZnO纳/微米结构的生长及发光器件的研究

摘要第4-5页
Abstract第5页
1 引言第8-24页
    1.1 ZnO 的基本性质第9-13页
        1.1.1 ZnO 的光学性能第11-12页
        1.1.2 ZnO 的光电性能第12页
        1.1.3 ZnO 的电输运性能第12页
        1.1.4 ZnO 的压电性能第12-13页
    1.2 ZnO 的缺陷与掺杂第13-15页
        1.2.1 ZnO 的本征缺陷第13-14页
        1.2.2 ZnO 的非故意掺杂第14页
        1.2.3 ZnO 的 n 型掺杂第14页
        1.2.4 ZnO 的 p 型掺杂第14-15页
    1.3 ZnO 基纳米器件的研究进展第15-22页
    1.4 本文研究的主要内容第22-24页
2 ZnO 纳米材料的制备方法及常用的表征手段第24-32页
    2.1 ZnO 纳米材料的制备方法第24-26页
        2.1.1 化学气相沉积法第24页
        2.1.2 分子束外延第24-25页
        2.1.3 脉冲激光沉积第25页
        2.1.4 射频磁控溅射法第25页
        2.1.5 溶胶—凝胶法第25-26页
    2.2 ZnO 纳米材料常用的表征手段第26-32页
        2.2.1 扫描电子显微镜第26-27页
        2.2.2 透射电子显微镜第27-28页
        2.2.3 STM-TEM 组合表征测试第28页
        2.2.4 X 射线衍射谱第28-30页
        2.2.5 光致荧光谱第30-31页
        2.2.6 I-V 测试第31-32页
3 p-ZnO:P 纳米线/n-Si 异质结的制备和性能研究第32-39页
    3.1 实验过程第32-33页
        3.1.1 p-ZnO:P 纳米线的制备第32页
        3.1.2 p-ZnO:P 纳米线/n-Si 异质结的制备第32-33页
    3.2 ZnO:P 纳米线及其异质结的性能研究第33-38页
        3.2.1 ZnO:P 纳米线的表面形貌第33-34页
        3.2.2 ZnO:P 纳米线的结构特性第34-35页
        3.2.3 ZnO:P 纳米线的光学特性第35-37页
        3.2.4 p-ZnO:P 纳米线/n-Si 异质结的 I-V 特性第37-38页
    3.3 小结第38-39页
4 Au/ZnO/Al 肖特基二极管的制备和性能研究第39-44页
    4.1 实验过程第39-41页
        4.1.1 ZnO 微米线的制备第39-40页
        4.1.2 单根 Au/ZnO/Al 微米线肖特基二极管的制备第40-41页
    4.2 结果和讨论第41-43页
        4.2.1 ZnO 微米线的表面形貌第41页
        4.2.2 ZnO 微米线的光学特性第41-42页
        4.2.3 Au/ZnO/Al 肖特基二极管的 I-V 特性第42-43页
    4.3 小结第43-44页
结论第44-45页
参考文献第45-48页
攻读硕士学位期间取得的成果第48-49页
致谢第49页

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