| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-17页 |
| 1.1 课题背景及意义 | 第11-12页 |
| 1.2 MEMS地震传感器的介绍 | 第12-13页 |
| 1.2.1 国外研究动态 | 第12-13页 |
| 1.2.2 国内研究动态 | 第13页 |
| 1.3 MEMS加速度计的介绍 | 第13-15页 |
| 1.3.1 国外研究动态 | 第14-15页 |
| 1.3.2 国内研究动态 | 第15页 |
| 1.4 论文主要内容 | 第15-17页 |
| 第二章 MEMS加速度计敏感结构设计 | 第17-29页 |
| 2.1 加速度计简介 | 第17-19页 |
| 2.1.1 加速度计力学模型分析 | 第17-18页 |
| 2.1.2 加速度计运动学分析 | 第18-19页 |
| 2.2 多弹簧悬臂敏感结构设计 | 第19-24页 |
| 2.2.1 敏感结构整体尺寸设计 | 第19-22页 |
| 2.2.2 敏感结构细节尺寸设计 | 第22-24页 |
| 2.3 敏感结构机械热噪声优化 | 第24-25页 |
| 2.4 敏感结构其他因素优化 | 第25-27页 |
| 2.5 本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 MEMS加速度计敏感结构有限元仿真 | 第29-53页 |
| 3.1 ANSYSWorkbench有限元软件简单介绍 | 第29-30页 |
| 3.2 简单敏感结构仿真 | 第30-38页 |
| 3.2.1 模型建立及材料属性设置 | 第30-31页 |
| 3.2.2 具有单组弹簧敏感结构静力学仿真 | 第31-32页 |
| 3.2.3 具有单组弹簧敏感结构模态仿真 | 第32-38页 |
| 3.3 具有多组弹簧敏感结构仿真 | 第38-44页 |
| 3.3.1 无框架多组弹簧敏感结构模态分析 | 第38-41页 |
| 3.3.2 含框架多组弹簧敏感结构模态仿真 | 第41-42页 |
| 3.3.3 含框架多组弹簧敏感结构静力学仿真 | 第42-44页 |
| 3.4 多弹簧悬臂敏感结构仿真分析 | 第44-52页 |
| 3.4.1 多弹簧悬臂敏感结构前处理 | 第44-47页 |
| 3.4.2 多弹簧悬臂敏感结构静力学分析 | 第47-49页 |
| 3.4.3 多弹簧悬臂敏感结构模态分析 | 第49-51页 |
| 3.4.4 多弹簧悬臂敏感结构谐响应分析 | 第51-52页 |
| 3.5 本章小结 | 第52-53页 |
| 第四章 MEMS敏感结构的制备 | 第53-73页 |
| 4.1 敏感结构加工技术及工艺流程 | 第53-56页 |
| 4.2 工艺步骤 | 第56-69页 |
| 4.2.1 清洗工艺 | 第56页 |
| 4.2.2 气相成底膜处理及匀胶工艺 | 第56-57页 |
| 4.2.3 光刻工艺 | 第57-59页 |
| 4.2.4 显影工艺 | 第59-60页 |
| 4.2.5 深反应离子刻蚀(DRIE)工艺 | 第60-68页 |
| 4.2.6 敏感结构加工结果 | 第68-69页 |
| 4.3 工艺流程优化 | 第69-72页 |
| 4.3.1 残胶消除 | 第69-70页 |
| 4.3.2 半圆形缺口消除 | 第70-72页 |
| 4.4 本章小结 | 第72-73页 |
| 第五章 MEMS多弹簧悬臂敏感结构测试 | 第73-81页 |
| 5.1 实验台搭建及前期准备工作 | 第73-75页 |
| 5.2 MEMS敏感结构SEM测试 | 第75-80页 |
| 5.2.1 稳定持续正弦激励 | 第75-77页 |
| 5.2.2 脉冲激励 | 第77-79页 |
| 5.2.3 实验结果 | 第79-80页 |
| 5.3 本章小结 | 第80-81页 |
| 第六章 总结及展望 | 第81-83页 |
| 6.1 总结 | 第81-82页 |
| 6.2 工作展望 | 第82-83页 |
| 参考文献 | 第83-87页 |
| 致谢 | 第87-89页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文 | 第89页 |