| 内容摘要 | 第1-8页 |
| ABSTRACT | 第8-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-28页 |
| ·湿度传感器概述 | 第15页 |
| ·湿度传感器的分类及应用 | 第15-19页 |
| ·薄膜湿度传感器的研究和应用 | 第19-21页 |
| ·薄膜湿度传感器种类和原理 | 第19页 |
| ·薄膜湿度传感器的湿敏材料 | 第19-21页 |
| ·MEMS技术简介 | 第21-22页 |
| ·本论文研究内容及意义 | 第22-23页 |
| 参考文献 | 第23-28页 |
| 第二章 三明治结构PI电容式湿度传感器研究 | 第28-54页 |
| ·PI材料的基本特性 | 第28-29页 |
| ·PI电容式湿度传感器的结构和工作原理 | 第29-32页 |
| ·PI电容式湿度传感器的结构 | 第29-31页 |
| ·三明治结构PI湿敏电容的工作原理 | 第31-32页 |
| ·工艺制备 | 第32-40页 |
| ·实验试剂及仪器 | 第32-35页 |
| ·具体制备工艺 | 第35-40页 |
| ·三明治结构PI电容式湿度传感器的表征 | 第40-41页 |
| ·电容结构表征 | 第40-41页 |
| ·各层材料厚度测试 | 第41页 |
| ·三明治结构PI电容式湿度传感器的特性测试 | 第41-50页 |
| ·初步测试 | 第41-42页 |
| ·湿度测试环境与测试系统 | 第42-44页 |
| ·测试结果与分析 | 第44-50页 |
| ·结果讨论 | 第50页 |
| ·本章小结 | 第50-51页 |
| 参考文献 | 第51-54页 |
| 第三章 集成电阻丝的加热型PI电容式湿度传感器研究 | 第54-68页 |
| ·加热型PI电容式湿度传感器的研究意义 | 第54页 |
| ·电阻丝加热型PI电容式湿度传感器的结构和工作原理 | 第54-56页 |
| ·工艺制备 | 第56-57页 |
| ·电阻丝加热型PI电容式湿度传感器的表征和测试 | 第57-65页 |
| ·电容结构的形貌表征 | 第57-58页 |
| ·测试方案 | 第58-59页 |
| ·测试结果与分析 | 第59-65页 |
| ·本章小结 | 第65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 第四章 组装有PTCR的加热型PI电容式湿度传感器研究 | 第68-80页 |
| ·PTCR材料简介 | 第68-69页 |
| ·测试过程与结果分析 | 第69-76页 |
| ·PTCR在室温下的加热测试 | 第69-72页 |
| ·组装式加热型PI薄膜湿敏电容的加热测试 | 第72-76页 |
| ·本章小结 | 第76-77页 |
| 参考文献 | 第77-80页 |
| 第五章 叉指结构的PI电容式湿度传感器研究 | 第80-100页 |
| ·叉指电极传感器简介 | 第80-82页 |
| ·叉指电极电场分布的建模仿真 | 第82-88页 |
| ·叉指结构的PI电容式湿度传感器制备 | 第88-91页 |
| ·版图设计 | 第88-89页 |
| ·工艺制备 | 第89-91页 |
| ·叉指结构PI电容式湿度传感器的表征和测试 | 第91-96页 |
| ·叉指结构的表征及厚度测试 | 第91-92页 |
| ·特性测试结果与分析 | 第92-96页 |
| ·本章小结 | 第96-97页 |
| 参考文献 | 第97-100页 |
| 第六章 总结与展望 | 第100-102页 |
| 致谢 | 第102-103页 |
| 硕士论文期间发表文章 | 第103页 |
