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硅基片上射频螺旋电感的建模与参数提取分析

摘要第1-7页
Abstract第7-12页
第一章 绪论第12-16页
   ·研究背景第12-13页
   ·研究现状第13-14页
   ·论文结构第14-16页
第二章 片上螺旋电感的设计与优化第16-31页
   ·仿真软件介绍第16页
   ·基于硅衬底的片上螺旋电感设计第16-20页
   ·片上螺旋电感的本征电感值第20-21页
   ·片上螺旋电感的品质因数第21-23页
   ·几何参数对片上螺旋电感的影响第23-31页
     ·金属圈数n对片上螺旋电感的影响第23-25页
     ·金属线宽w对片上螺旋电感的影响第25-26页
     ·金属线间距s对片上螺旋电感的影响第26-28页
     ·电感内径r对片上螺旋电感的影响第28-31页
第三章 片上螺旋电感的参数提取与优化分析第31-73页
   ·去嵌技术第31-56页
     ·OPEN去嵌方法第32-44页
     ·SHORT去嵌方法第44-56页
   ·片上螺旋电感的建模第56-62页
   ·片上螺旋电感的参数提取第62-73页
第四章 片上螺旋电感测试系统第73-87页
   ·散射参数(S参数)第73-75页
   ·矢量网络分析仪(VNA)第75-77页
   ·40GHz S参数测试系统第77-87页
第五章 总结与展望第87-89页
   ·总结第87-88页
   ·展望第88-89页
参考文献第89-95页
附录第95-96页
致谢第96页

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