| 致谢 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-20页 |
| ·课题的研究背景与意义 | 第9-11页 |
| ·国内外发展现状 | 第11-12页 |
| ·工件转台误差分离技术综述 | 第12-18页 |
| ·两步法 | 第13-14页 |
| ·反向法 | 第14页 |
| ·多步法 | 第14-16页 |
| ·三点法 | 第16-17页 |
| ·单测头扫描数据拼接方法 | 第17-18页 |
| ·工件转台误差分离技术总结 | 第18页 |
| ·主要工作和论文组织安排 | 第18-20页 |
| 第2章 摆臂式轮廓仪的原理和工件转台运动误差对测量结果影响 | 第20-29页 |
| ·摆臂式轮廓仪的工作原理 | 第20-22页 |
| ·倾斜模式测量原理 | 第20-22页 |
| ·平行模式测量原理 | 第22页 |
| ·摆臂式轮廓仪扫描方式 | 第22-24页 |
| ·螺旋扫描方式 | 第23页 |
| ·同心圆扫描方式 | 第23-24页 |
| ·弧线扫描方式 | 第24页 |
| ·摆臂式轮廓仪误差分析 | 第24-28页 |
| ·本章小结 | 第28-29页 |
| 第3章 摆臂式轮廓仪工件转台误差分离方法研究 | 第29-39页 |
| ·双测头扫描数据拼接方法原理 | 第29-33页 |
| ·双测头扫描数据拼接法扫描轨迹 | 第33-35页 |
| ·双测头扫描数据拼接方法实验仿真 | 第35-38页 |
| ·本章小结 | 第38-39页 |
| 第4章 摆臂式轮廓仪工件转台误差分离实验研究 | 第39-56页 |
| ·双测头摆臂式轮廓仪测量装置 | 第39-43页 |
| ·测量装置结构 | 第39-40页 |
| ·数据处理软件设计 | 第40-43页 |
| ·工件转台误差分离实验 | 第43-49页 |
| ·摆臂式轮廓仪扫描重复性实验 | 第43-46页 |
| ·高精度转台误差分离实验 | 第46-48页 |
| ·低精度转台误差分离实验 | 第48-49页 |
| ·测量不确定度分析和实验结果讨论 | 第49-54页 |
| ·摆臂式轮廓仪工程应用 | 第54-55页 |
| ·本章小结 | 第55-56页 |
| 第5章 总结与展望 | 第56-58页 |
| ·论文总结 | 第56页 |
| ·论文展望 | 第56-58页 |
| 参考文献 | 第58-61页 |
| 作者简介及在学期间发表的学术论文与研究成果 | 第61页 |