基于VME总线的高精度多通道数据采集系统研究
| 致谢 | 第1-6页 |
| 摘要 | 第6-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 1 绪论 | 第12-28页 |
| ·引言 | 第12-14页 |
| ·光学投影光刻研究进展 | 第14-16页 |
| ·光刻技术国际发展现状及趋势 | 第14-15页 |
| ·光刻技术国内发展现状及趋势 | 第15-16页 |
| ·检焦技术研究进展 | 第16-24页 |
| ·光度检焦 | 第16页 |
| ·激光干涉检焦 | 第16页 |
| ·气动检焦 | 第16-17页 |
| ·光栅检焦 | 第17-24页 |
| ·粗检焦 | 第17-18页 |
| ·基于偏振调制的精检焦系统 | 第18-24页 |
| ·数据采集系统研究进展 | 第24-26页 |
| ·数据采集国际研究现状 | 第24-25页 |
| ·数据采集国内研究现状 | 第25-26页 |
| ·本文主要研究内容及结构安排 | 第26-28页 |
| 2 基于 VME 总线的数据采集系统相关技术简介 | 第28-38页 |
| ·引言 | 第28页 |
| ·数据采集基本理论 | 第28-29页 |
| ·采样定理 | 第28-29页 |
| ·采样保持 | 第29页 |
| ·量化 | 第29页 |
| ·编码 | 第29页 |
| ·模数转换器（ADC）简介 | 第29-32页 |
| ·数据采集系统性能指标 | 第32-34页 |
| ·采集通道数 | 第32-33页 |
| ·数据转换的有效位数 | 第33页 |
| ·采集方式 | 第33页 |
| ·采集时钟 | 第33页 |
| ·触发信号 | 第33页 |
| ·待采集信号参数 | 第33页 |
| ·采样频率 | 第33页 |
| ·数据存储容量 | 第33-34页 |
| ·VME 总线简介 | 第34-36页 |
| ·VME 总线的特点 | 第34页 |
| ·VME 总线结构 | 第34-36页 |
| ·系统总体设计~[41] | 第36页 |
| ·本章小结 | 第36-38页 |
| 3 系统采集卡设计 | 第38-53页 |
| ·引言 | 第38页 |
| ·采集卡硬件设计 | 第38-50页 |
| ·采集卡干扰源分析 | 第38页 |
| ·采集卡硬件总体设计 | 第38-39页 |
| ·主要模块的设计与实现 | 第39-46页 |
| ·模拟信号调理模块 | 第39-40页 |
| ·参考电压模块 | 第40-41页 |
| ·精密电源模块 | 第41-42页 |
| ·模数转换模块 | 第42-43页 |
| ·锁相环模块 | 第43页 |
| ·光电隔离模块 | 第43-44页 |
| ·单片机控制模块 | 第44-45页 |
| ·串并转换模块 | 第45页 |
| ·与主控卡通信模块 | 第45-46页 |
| ·其他抗干扰措施 | 第46-48页 |
| ·采集卡 PCB 设计 | 第48-50页 |
| ·PCB 板层设置 | 第48页 |
| ·接地 | 第48页 |
| ·PCB 布局布线 | 第48-50页 |
| ·采集卡控制程序设计 | 第50-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 4 系统主控卡设计 | 第53-65页 |
| ·引言 | 第53页 |
| ·主控卡硬件设计 | 第53-63页 |
| ·主控卡硬件总体设计 | 第53-54页 |
| ·主要模块的设计与实现 | 第54-63页 |
| ·FPGA 控制模块 | 第54页 |
| ·FPGA 外围配置电路模块 | 第54-56页 |
| ·VME 接口模块 | 第56-63页 |
| ·主控卡控制程序设计 | 第63-64页 |
| ·本章小结 | 第64-65页 |
| 5 实验验证及结果分析 | 第65-78页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·采集卡性能测试 | 第65-72页 |
| ·模拟信号调理模块测试 | 第65-66页 |
| ·精密电源模块测试 | 第66-67页 |
| ·锁相环模块测试 | 第67-68页 |
| ·采集卡总体性能测试 | 第68-72页 |
| ·主控卡性能测试 | 第72-74页 |
| ·仿真测试 | 第72-74页 |
| ·实验验证 | 第74页 |
| ·检焦实验 | 第74-77页 |
| ·小结 | 第77-78页 |
| 6 总结与展望 | 第78-80页 |
| ·总结 | 第78页 |
| ·展望 | 第78-80页 |
| 参考文献 | 第80-83页 |
| 作者简历及在学期间发表学术论文及研究成果 | 第83页 |
