光学塑料成型技术的微光学元件制作工艺设计
| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-7页 |
| 目录 | 第7-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-14页 |
| ·研究背景 | 第9-10页 |
| ·国内外发展趋势 | 第10-11页 |
| ·研究目的及意义 | 第11-12页 |
| ·研究工作及内容安排 | 第12-14页 |
| 第2章 几种衍射光学元件掩模图的设计及制作 | 第14-24页 |
| ·引言 | 第14页 |
| ·掩模图的设计软件介绍 | 第14-15页 |
| ·掩模版面的设计 | 第15-22页 |
| ·二元光栅的设计 | 第15-16页 |
| ·Ronchi 光栅的设计 | 第16-17页 |
| ·达曼光栅（Dammaann）的设计 | 第17-19页 |
| ·菲涅耳波带透镜的设计 | 第19-20页 |
| ·掩模版的整体布局的设计 | 第20-22页 |
| ·掩模版的制作技术 | 第22-24页 |
| 第3章 衍射光学元件加工工艺 | 第24-44页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·光刻系统的介绍 | 第24-26页 |
| ·实验制作工艺 | 第26-38页 |
| ·研磨抛光 | 第27-28页 |
| ·基片预处理 | 第28-29页 |
| ·涂胶 | 第29-30页 |
| ·前烘 | 第30页 |
| ·曝光 | 第30-31页 |
| ·曝光后烘 | 第31-32页 |
| ·显影 | 第32-34页 |
| ·坚膜 | 第34页 |
| ·刻蚀 | 第34-37页 |
| ·去胶 | 第37-38页 |
| ·套刻工艺 | 第38-40页 |
| ·母版检验及母版制作工艺小结 | 第40-42页 |
| ·在玻璃上制作衍射光学元件 | 第42-44页 |
| 第4章 复制 | 第44-58页 |
| ·引言 | 第44页 |
| ·复制材料 | 第44-45页 |
| ·复制方法 | 第45-52页 |
| ·热压 | 第45-49页 |
| ·注射成型 | 第49-51页 |
| ·浇铸和紫外固化 | 第51-52页 |
| ·复制技术的比较 | 第52页 |
| ·注射模具的设计与制作 | 第52-56页 |
| ·成品元件展示 | 第56-58页 |
| 第5章 成品元件衍射效率测量及实验误差分析 | 第58-63页 |
| ·成品元件衍射效率测量 | 第58-60页 |
| ·实验误差分析 | 第60-63页 |
| ·系统误差 | 第61页 |
| ·显影误差 | 第61页 |
| ·刻蚀误差 | 第61-62页 |
| ·复制产生的误差 | 第62-63页 |
| 第6章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 参考文献 | 第65-68页 |
| 硕士期间发表的论文 | 第68-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 附录 | 第70-74页 |
