| 目录 | 第1-5页 |
| 摘要 | 第5-6页 |
| Abstract | 第6-7页 |
| 第1章 绪论 | 第7-13页 |
| ·研究背景 | 第7-9页 |
| ·研究现状 | 第9-11页 |
| ·本文工作 | 第11页 |
| ·论文内容安排 | 第11-13页 |
| 第2章 空间相关性的研究背景 | 第13-37页 |
| ·纳米工艺下的工艺偏差 | 第13-23页 |
| ·工艺偏差的主要种类 | 第13-18页 |
| ·工艺偏差的测量 | 第18-22页 |
| ·工艺偏差的分类 | 第22-23页 |
| ·片内偏差的空间相关性 | 第23-26页 |
| ·早期的空间相关函数提取工作 | 第23-25页 |
| ·片内偏差的分解 | 第25-26页 |
| ·随机场 | 第26-31页 |
| ·随机场的性质 | 第26-27页 |
| ·协方差函数(相关函数)的正定性和谱密度函数 | 第27-28页 |
| ·参数化相关函数模型 | 第28-30页 |
| ·Nugget effect及其对相关函数的影响 | 第30-31页 |
| ·基于随机场的空间相关函数提取 | 第31-35页 |
| ·基于随机场的空间相关函数提取问题定义 | 第31-32页 |
| ·基于随机场的空间相关函数提取研究工作回顾 | 第32-35页 |
| ·本章小结 | 第35-37页 |
| 第3章 B样条曲线及其性质 | 第37-42页 |
| ·B样条曲线及其性质 | 第37-39页 |
| ·数学模式 | 第37-38页 |
| ·凸多边形特性(convex hull property) | 第38-39页 |
| ·局部控制性 | 第39页 |
| ·B样条函数的凸约束 | 第39-42页 |
| 第4章 B样条函数拟合方法 | 第42-47页 |
| ·空间相关函数提取的问题定义 | 第42页 |
| ·约束条件的添加 | 第42-43页 |
| ·正定性 | 第43页 |
| ·单调性 | 第43页 |
| ·通过求凸优化问题求解B样条函数 | 第43-45页 |
| ·基于曲线拟合的最小二乘估计法 | 第44页 |
| ·多块测试芯片的最大似然估计法 | 第44-45页 |
| ·利用CVX进行凸优化问题的求解 | 第45-46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第5章 计算机模拟测试与比较实验 | 第47-55页 |
| ·计算机模拟生成测试数据 | 第47-50页 |
| ·模拟片内偏差趋势的可靠性 | 第47页 |
| ·各向同性的片内偏差空间相关部分的模拟生成 | 第47-49页 |
| ·各向异性工艺偏差的计算机模拟生成 | 第49-50页 |
| ·实验结果及分析 | 第50-53页 |
| ·各向同性下的拟合曲线比较 | 第50-51页 |
| ·约束条件的添加对性能的影响 | 第51-52页 |
| ·采样策略优化后的拟合曲线比较 | 第52页 |
| ·各向异性下的拟合曲线比较 | 第52-53页 |
| ·本章小结 | 第53-55页 |
| 第6章 总结与展望 | 第55-57页 |
| ·工作总结 | 第55页 |
| ·工作展望 | 第55-57页 |
| 参考文献 | 第57-63页 |
| 攻读学位期间发表的学术成果 | 第63-64页 |
| 致谢 | 第64-65页 |