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氧化锌薄膜的制备及其紫外探测特性研究

第一章 ZnO材料综述第1-15页
   ·引言第7-8页
   ·ZnO材料的基本性质和研究进展第8-11页
     ·ZnO材料的基本性质第8-9页
     ·ZnO薄膜的制备方法第9页
     ·ZnO薄膜的研究进展第9-10页
     ·尚需解决的问题及研究方向第10-11页
   ·ZnO基紫外探测器第11-13页
     ·紫外探测的意义第11页
     ·紫外探测器的原理第11-12页
     ·ZnO基紫外探测器研究进展第12-13页
   ·本课题的研究内容和意义第13-15页
第二章 PLD法制备ZnO薄膜及其紫外探测特性研究第15-32页
   ·引言第15-16页
   ·光电导原理及基本公式第16-19页
   ·脉冲激光蒸发设备的原理和结构第19-22页
   ·实验样品的制备与测量第22页
   ·ZnO薄膜的X射线衍射谱第22-23页
   ·ZnO薄膜的透射和吸收光谱第23-24页
   ·I-V特性第24-25页
   ·ZnO薄膜的光响应特性第25-29页
   ·ZnO薄膜的暗电导瞬态特性第29-30页
   ·小结第30-32页
第三章 锌膜氧化法制备ZnO薄膜及其紫外探测特性研究第32-44页
   ·引言第32页
   ·电子束蒸发设备的原理和结构第32-35页
   ·实验样品的制备第35-36页
   ·ZnO薄膜的形貌特征第36-40页
   ·I-V特性第40-41页
   ·ZnO薄膜的光响应特性第41-43页
   ·小结第43-44页
全文总结第44-46页
参考文献第46-54页
发表或待发表的文章第54-55页
会议交流的论文第55-56页
致谢第56页

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