| 摘要 | 第1-3页 |
| Abstract | 第3-7页 |
| 第1章 概述 | 第7-22页 |
| ·选题背景及论文总述 | 第7页 |
| ·课题背景 | 第7页 |
| ·论文总述 | 第7页 |
| ·检漏的基本概念 | 第7-14页 |
| ·漏 | 第7-8页 |
| ·漏率 | 第8-9页 |
| ·检漏 | 第9-10页 |
| ·检漏的基本方法与手段 | 第10-11页 |
| ·检漏仪器的基本参数 | 第11-12页 |
| ·检漏仪的发展历史 | 第12-13页 |
| ·检漏仪的校准 | 第13-14页 |
| ·超灵敏检漏的概念及意义 | 第14-16页 |
| ·超灵敏检漏 | 第14-15页 |
| ·漏率的极限 | 第15-16页 |
| ·超灵敏检漏技术的发展历史与现状 | 第16-22页 |
| 第2章 超灵敏检漏系统的性能测试 | 第22-41页 |
| ·超灵敏检漏系统 | 第22-24页 |
| ·系统的氦本底测试 | 第24-32页 |
| ·动态氦本底情况 | 第24-30页 |
| ·静态累积氦本底测试 | 第30-32页 |
| ·系统的检漏灵敏度测试 | 第32-35页 |
| ·动态检漏的步骤与原理 | 第32-33页 |
| ·动态检漏灵敏度 | 第33-34页 |
| ·静态累积法检漏的步骤与原理 | 第34-35页 |
| ·静态累积灵敏度 | 第35页 |
| ·漏孔检漏实践 | 第35-41页 |
| ·较小漏率漏孔的检漏实例 | 第35-38页 |
| ·超灵敏检漏实例 | 第38-41页 |
| 第3章 超灵敏检漏系统参考漏孔测试 | 第41-45页 |
| ·参考漏孔 | 第41页 |
| ·动态测试 | 第41-42页 |
| ·静态累积测试 | 第42-45页 |
| 第4章 超灵敏检漏系统的实时校准 | 第45-61页 |
| ·实时校准的含义 | 第45-46页 |
| ·超灵敏检漏系统实时校准的困难 | 第46页 |
| ·微流量参考漏率系统 | 第46-54页 |
| ·系统原理及组件 | 第46-48页 |
| ·白金丝-玻璃漏孔 | 第48-49页 |
| ·氦气浓度测试 | 第49-51页 |
| ·微流量参考漏率系统与检漏仪的互校 | 第51-54页 |
| ·超灵敏检漏系统的实时校准 | 第54-61页 |
| ·10~(-12) Pa·m~3/s ～10~(-10) Pa·m~3/s 漏率范围内的校准 | 第54-57页 |
| ·10~(-14) Pa·m~3/s～10~(-12) Pa·m~3/s 漏率范围内的校准 | 第57-61页 |
| 第5章 结论 | 第61-62页 |
| ·论文的主要工作及结果 | 第61页 |
| ·尚未完成的工作及建议 | 第61-62页 |
| 参考文献 | 第62-64页 |
| 致谢 | 第64页 |
| 声明 | 第64页 |