| 第一章 绪论 | 第1-24页 |
| 1-1 微区电阻测试相关因素分析 | 第9-13页 |
| 1-1-1 离子注入监测 | 第9-10页 |
| 1-1-2 二极管的反向饱和电流 | 第10页 |
| 1-1-3 反向耐压 | 第10页 |
| 1-1-4 晶体管的饱和压降 | 第10-11页 |
| 1-1-5 晶体管的放大倍数β | 第11页 |
| 1-1-6 MOS电容器耗尽层弛豫时间Tc | 第11-12页 |
| 1-1-7 GaAs器件阈值分散性 | 第12页 |
| 1-1-8 化合物半导体计量比一致性 | 第12页 |
| 1-1-9 材料结构强度的判定依据 | 第12-13页 |
| 1-1-10 硅可控整流器 | 第13页 |
| 1-2 国内外薄层电阻测试方法综述 | 第13-21页 |
| 1-2-1 微区薄层电阻测试方法种类 | 第13页 |
| 1-2-2 微区电阻测试方法的原理与特点 | 第13-18页 |
| 1-2-3 微区电阻测试结果的表示方法 | 第18页 |
| 1-2-4 微区电阻的测试结构分析 | 第18-21页 |
| 1-2-5 四探针技术可测试的对象及电阻率测试的广泛应用 | 第21页 |
| 1-3 图象处理与分析及其在本课题中的应用 | 第21-23页 |
| 1-4 本论文的主要研究内容 | 第23-24页 |
| 第二章 四探针技术测量薄层电阻的原理分析 | 第24-38页 |
| 2-1 四探针测试技术概述 | 第24-26页 |
| 2-2 常规直线四探针法 | 第26-31页 |
| 2-2-1 常规直线四探针法的基本原理 | 第26-27页 |
| 2-2-2 直线四探针法的测准条件分析 | 第27-28页 |
| 2-2-3 测量电流的选择 | 第28-29页 |
| 2-2-4 直线四探针技术的边缘和厚度修正 | 第29-30页 |
| 2-2-5 直线四探针法的测量区域的局限 | 第30-31页 |
| 2-3 改进的范德堡法 | 第31-34页 |
| 2-3-1 改进范德堡法的基本原理 | 第31-32页 |
| 2-3-2 改进范德堡法测试条件分析 | 第32-34页 |
| 2-3-3 改进范德堡法的边缘修正 | 第34页 |
| 2-4 斜置式方形Rymaszewski四探针法 | 第34-37页 |
| 2-4-1 斜置式方形Rymaszewski四探针法基本原理 | 第34-35页 |
| 2-4-2 斜置式方形Rymaszewski四探针法的厚度修正 | 第35-37页 |
| 2-5 本章小结 | 第37-38页 |
| 第三章 四探针测试技术中的共性问题 | 第38-46页 |
| 3-1 测试探针 | 第38页 |
| 3-2 测试设备的校准及环境对测量的影响 | 第38-39页 |
| 3-2-1 测试设备的校准 | 第38-39页 |
| 3-2-2 环境对测量的影响 | 第39页 |
| 3-3 四探针测试中的边缘修正问题 | 第39-45页 |
| 3-3-1 边缘修正的镜像源法 | 第40-42页 |
| 3-3-2 边缘修正的图形变换法 | 第42-43页 |
| 3-3-3 边缘修正的有限元法 | 第43-45页 |
| 3-3-4 结论 | 第45页 |
| 3-4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第四章 四探针仪测控系统及其实现 | 第46-62页 |
| 4-1 机械系统设计 | 第46-47页 |
| 4-1-1 总体布局设计 | 第46页 |
| 4-1-2 样品平台设计 | 第46-47页 |
| 4-1-3 探针系统设计 | 第47页 |
| 4-2 四探针仪测试系统设计 | 第47-61页 |
| 4-2-1 自动测试系统功能 | 第47-49页 |
| 4-2-2 信号测量系统原理 | 第49-55页 |
| 4-2-3 串行接口电路设计 | 第55-56页 |
| 4-2-4 系统通信程序设计 | 第56-61页 |
| 4-3 光学监视系统 | 第61页 |
| 4-4 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 游移对测试结果的影响及测量薄层电阻的改进Rymaszewski方法 | 第62-78页 |
| 5-1 方形四探针测试中探针游移对测试结果造成的误差分析 | 第62-66页 |
| 5-1-1 方形四探针测试系统游移造成的误差分析 | 第62-65页 |
| 5-1-2 测试系统探针游移造成的探针定位误差试验 | 第65-66页 |
| 5-2 方形四探针法与常规直线四探针法游移造成误差的对比分析 | 第66-70页 |
| 5-2-1 测准条件分析 | 第66-67页 |
| 5-2-2 常规直线四探针测试系统探针游移造成的误差理论分析 | 第67-69页 |
| 5-2-3 两种四探针游移误差分布对比 | 第69页 |
| 5-2-4 两种测试方法中的电势分布 | 第69-70页 |
| 5-2-5 两种四探针测试结果的对比 | 第70页 |
| 5-3 用改进的Rymaszewski公式及方形四探针法测定微区的方块电阻 | 第70-77页 |
| 5-3-1 现存问题讨论 | 第71页 |
| 5-3-2 基本原理及应用 | 第71-74页 |
| 5-3-3 理论计算数据及测试方案 | 第74-76页 |
| 5-3-4 实验测试及结论 | 第76-77页 |
| 5-4 本章小结 | 第77-78页 |
| 第六章 探针图像预处理及边缘检测 | 第78-103页 |
| 6-1 探针图像的获取 | 第78-79页 |
| 6-2 探针图像的预处理 | 第79-84页 |
| 6-2-1 探针图像的灰度级修正 | 第79-81页 |
| 6-2-2 探针图像的平滑 | 第81-84页 |
| 6-3 探针图像的二值化及处理 | 第84-85页 |
| 6-4 探针图像的边缘检测 | 第85-91页 |
| 6-5 亚像素边缘检测算法 | 第91-101页 |
| 6-5-1 亚像素细分算法的必要性与可能性 | 第91页 |
| 6-5-2 基于矩保持的亚像素边缘检测 | 第91-93页 |
| 6-5-3 利用一阶微分期望的亚像素边缘检测 | 第93页 |
| 6-5-4 利用切线信息的亚像素边缘检测 | 第93-95页 |
| 6-5-5 空间矩亚像素细分算法 | 第95-99页 |
| 6-5-6 试验结果及算法比较 | 第99-101页 |
| 6-6 图象特征描述 | 第101-102页 |
| ·本章小结 | 第102-103页 |
| 第七章 探针的图像分割、定位控制与探针图像检测精度分析 | 第103-114页 |
| 7-1 探针图像的分割 | 第103-106页 |
| 7-1-1 依赖像素的阈值选取 | 第104-105页 |
| 7-1-2 依赖区域的阈值选取 | 第105-106页 |
| 7-1-3 依赖坐标的阈值选取 | 第106页 |
| 7-2 测试结构对测试结果的影响 | 第106-107页 |
| 7-3 图像识别在探针自动定位与监控中的应用 | 第107-110页 |
| 7-3-1 通过直方图选择边界阈值 | 第107-108页 |
| 7-3-2 中心探测确定探针位置 | 第108-109页 |
| 7-3-3 驱动步进电机调整探针的测试结构 | 第109-110页 |
| 7-3-4 试验结论 | 第110页 |
| 7-4 探针识别系统产生误差的因素 | 第110-111页 |
| 7-5 探针图像检测误差分析 | 第111-113页 |
| 7-5-1 微区图像识别系统存在的误差 | 第111-112页 |
| 7-5-2 亚像素细分算法的误差分析 | 第112-113页 |
| 7-6 本章小结 | 第113-114页 |
| 第八章 结论 | 第114-116页 |
| 参考文献 | 第116-122页 |
| 致谢 | 第122-123页 |
| 读博士期间发表的论文 | 第123页 |
