| 摘要 | 第3-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第1章 绪论 | 第13-31页 |
| 1.1 课题背景及研究的目的和意义 | 第13-17页 |
| 1.1.1 课题研究的背景 | 第13-16页 |
| 1.1.2 课题研究的目的和意义 | 第16-17页 |
| 1.2 极紫外光刻光源主要方案 | 第17-22页 |
| 1.2.1 同步辐射光源 | 第17-18页 |
| 1.2.2 激光等离子体EUV光源 | 第18-19页 |
| 1.2.3 放电等离子体EUV光源 | 第19-21页 |
| 1.2.4 激光辅助放电等离子体EUV光源 | 第21-22页 |
| 1.3 放电等离子体EUV光源国内外研究进展 | 第22-29页 |
| 1.4 本文的主要研究内容 | 第29-31页 |
| 第2章 毛细管放电Z箍缩Xe等离子体极紫外光源理论研究 | 第31-55页 |
| 2.1 引言 | 第31页 |
| 2.2 Xe等离子体极紫外光谱模拟 | 第31-43页 |
| 2.2.1 Cowan程序介绍 | 第31-33页 |
| 2.2.2 Xe离子能级参数计算 | 第33-36页 |
| 2.2.3 Xe离子丰度计算 | 第36-39页 |
| 2.2.4 Xe等离子体极紫外光谱模拟 | 第39-43页 |
| 2.3 毛细管放电Xe等离子体Z箍缩过程模拟 | 第43-50页 |
| 2.3.1 雪耙模型介绍 | 第43-46页 |
| 2.3.2 Z箍缩过程与Xe气气压的关系 | 第46-48页 |
| 2.3.3 Z箍缩过程与电流的关系 | 第48-49页 |
| 2.3.4 Z箍缩过程与毛细管内径的关系 | 第49-50页 |
| 2.4 等离子体长度和毛细管内径对收集效率的影响 | 第50-53页 |
| 2.4.1 等离子体长度的影响 | 第51-53页 |
| 2.4.2 毛细管内径的影响 | 第53页 |
| 2.5 本章小结 | 第53-55页 |
| 第3章 毛细管放电Z箍缩Xe等离子体EUV光源实验装置介绍及改进 | 第55-70页 |
| 3.1 引言 | 第55页 |
| 3.2 EUV光源实验装置建造 | 第55-64页 |
| 3.2.1 EUV光源实验装置总体结构 | 第56-57页 |
| 3.2.2 EUV光源实验装置电源系统 | 第57-61页 |
| 3.2.3 EUV光源实验装置探测设备 | 第61-64页 |
| 3.3 EUV光源实验装置的改进 | 第64-69页 |
| 3.3.1 放电电极的改进 | 第65-66页 |
| 3.3.2 预脉冲电源改进 | 第66-67页 |
| 3.3.3 毛细管结构的改进 | 第67-69页 |
| 3.4 本章小结 | 第69-70页 |
| 第4章 毛细管放电Z箍缩Xe等离子体极紫外光谱研究 | 第70-97页 |
| 4.1 引言 | 第70页 |
| 4.2 Xe等离子体放电光谱分析 | 第70-73页 |
| 4.3 预脉冲放电对Xe气放电影响研究 | 第73-78页 |
| 4.3.1 预脉冲放电对Xe气放电辐射光谱影响研究 | 第73-75页 |
| 4.3.2 预脉冲放电对光源稳定性的影响 | 第75-78页 |
| 4.4 放电参数对极紫外光谱的影响 | 第78-91页 |
| 4.4.1 Xe气流量的影响 | 第78-83页 |
| 4.4.2 放电电流的影响 | 第83-87页 |
| 4.4.3 毛细管内径的影响 | 第87-90页 |
| 4.4.4 等离子体长度的影响 | 第90-91页 |
| 4.5 辅助气体对极紫外光谱及等离子体状态的影响 | 第91-95页 |
| 4.6 本章小结 | 第95-97页 |
| 第5章 毛细管放电Z箍缩Xe等离子体13.5nm辐射时间特性研究 | 第97-120页 |
| 5.1 引言 | 第97页 |
| 5.2 放电电流对13.5nm辐射时间特性影响 | 第97-109页 |
| 5.2.1 5mm内径毛细管实验结果及分析 | 第98-103页 |
| 5.2.2 3mm内径毛细管实验结果及分析 | 第103-107页 |
| 5.2.3 7mm内径毛细管实验结果及分析 | 第107-109页 |
| 5.3 Xe气流量对13.5nm辐射时间特性的影响 | 第109-112页 |
| 5.4 毛细管内径对13.5nm辐射时间特性的影响 | 第112-113页 |
| 5.5 辅助气体对13.5nm辐射时间特性的影响 | 第113-116页 |
| 5.6 13.5nm(2%带宽)辐射功率测量 | 第116-119页 |
| 5.7 本章小结 | 第119-120页 |
| 第6章 1kHz毛细管放电Z箍缩Xe等离子体EUV光源建造 | 第120-138页 |
| 6.1 引言 | 第120页 |
| 6.2 1kHz EUV光源装置总体结构 | 第120-122页 |
| 6.3 1kHz EUV光源关键部件研制及测试 | 第122-133页 |
| 6.3.1 1kHz EUV光源关键参数设计 | 第122-123页 |
| 6.3.2 1kHz EUV光源电源系统建造及测试 | 第123-128页 |
| 6.3.3 1kHz EUV光源放电室和真空室研制 | 第128-130页 |
| 6.3.4 1kHz EUV光源去碎屑系统设计和建造 | 第130-132页 |
| 6.3.5 光学收集系统研制 | 第132-133页 |
| 6.4 1kHz EUV光源系统集成 | 第133-134页 |
| 6.5 1kHz EUV光源光谱测量及分析 | 第134-137页 |
| 6.6 本章小结 | 第137-138页 |
| 结论 | 第138-140页 |
| 参考文献 | 第140-150页 |
| 攻读博士学位期间发表的论文及其它成果 | 第150-153页 |
| 致谢 | 第153-154页 |
| 个人简历 | 第154页 |
