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压强对AlGaN/GaN高电子迁移率晶体管输运特性的影响

致谢第5-6页
中文摘要第6-7页
ABSTRACT第7页
目录第8-10页
1 引言第10-12页
2 Ⅲ族氮化物第12-23页
    2.1 特点与应用第12-13页
    2.2 GAN结构性质与外延生长第13-14页
    2.3 氮化镓高电子迁移率晶体管第14-18页
        2.3.1 二维电子气的简介第15-16页
        2.3.2 二维电子气的主要散射机制第16-18页
    2.4 氮化镓的压电效应以及压力传感器第18-20页
        2.4.1 氮化镓异质结的极化效应第18-19页
        2.4.2 氮化镓压力传感器第19-20页
    2.5 本文选题依据以及研究内容第20-23页
3 ALGAN/GAN-HEMT中的压电效应第23-29页
    3.1 压电效应的物理意义第23页
    3.2 压电效应的解析式分析第23-28页
    3.3 本章小结第28-29页
4. 压电效应下氮化镓异质结的输运特性第29-39页
    4.1 物理意义第29-30页
    4.2 ALGAN/GAN-HEMT中压电效应下的散射模型第30-33页
    4.3 讨论与结果第33-38页
    4.4 本章结论第38-39页
5. 用自洽求解计算压电效应下的电子输运第39-45页
    5.1 一维自洽求解薛定谔方程以及泊松方程第39-42页
    5.2 自洽求解泊松方程和薛定谔方程的流程第42-43页
    5.3 费米能级的其他确定方式第43-44页
    5.4 本章小结第44-45页
6 结论第45-46页
参考文献第46-50页
作者简历及攻读硕士学位期间取得的研究成果第50-52页
学位论文数据集第52页

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