整片晶圆纳米压印揭开式脱模及复合软模具研究
| 摘要 | 第9-11页 |
| Abstract | 第11-12页 |
| 第1章 绪论 | 第13-25页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第13-17页 |
| 1.2 整片晶圆纳米压印国内外研究现状 | 第17-22页 |
| 1.3 本文主要研究内容 | 第22-25页 |
| 1.3.1 大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律 | 第22页 |
| 1.3.2 大面积纳米压印复合软模具研究 | 第22-23页 |
| 1.3.3 整片晶圆纳米压印设备参数优化 | 第23页 |
| 1.3.4 压印实验 | 第23-25页 |
| 第2章 大面积纳米压印揭开式脱模机理和规律 | 第25-45页 |
| 2.1 理论模型 | 第26-34页 |
| 2.1.1 脱模力 | 第26-31页 |
| 2.1.2 脱模临界速度 | 第31-33页 |
| 2.1.3 脱模角度 | 第33-34页 |
| 2.2 数值模拟 | 第34-43页 |
| 2.2.1 工艺参数 | 第35-40页 |
| 2.2.2 材料属性（弹性模量） | 第40-42页 |
| 2.2.3 模具几何特征（深宽比） | 第42-43页 |
| 2.3 本章小节 | 第43-45页 |
| 第3章 大面积纳米压印复合软模具研究 | 第45-67页 |
| 3.1 复合软模具变形理论模型 | 第47-54页 |
| 3.1.1 特征区域建模 | 第47-51页 |
| 3.1.2 复合软模具建模 | 第51-54页 |
| 3.2 数值模拟 | 第54-64页 |
| 3.2.1 复合软模具厚度 | 第55-59页 |
| 3.2.2 复合软模具材料属性（弹性模量） | 第59-62页 |
| 3.2.3 压印工艺参数（压印力） | 第62-64页 |
| 3.3 复合软模具设计准则 | 第64-65页 |
| 3.4 本章小结 | 第65-67页 |
| 第4章 整片晶圆纳米压印设备参数优化 | 第67-75页 |
| 4.1 密闭气腔室中压印 | 第68-69页 |
| 4.2 数值模拟 | 第69-73页 |
| 4.2.1 复合软模具弯曲变形 | 第70-71页 |
| 4.2.2 复合软模具与衬底接触面 | 第71-73页 |
| 4.3 本章小结 | 第73-75页 |
| 第5章 压印实验 | 第75-85页 |
| 5.1 复合软模具共形接触压印 | 第75-78页 |
| 5.2 纳米特征结构复合软模具压印 | 第78-82页 |
| 5.3 接触面压印实验 | 第82-83页 |
| 5.4 本章小结 | 第83-85页 |
| 第6章 结论与展望 | 第85-89页 |
| 6.1 结论 | 第85-86页 |
| 6.2 未来展望 | 第86-89页 |
| 参考文献 | 第89-95页 |
| 攻读硕士学位期间完成的科研成果 | 第95-97页 |
| 致谢 | 第97页 |
