基于模型预测控制的硅单晶体提拉效果仿真研究
| 摘要 | 第1-7页 |
| ABSTRACT | 第7-9页 |
| 目录 | 第9-11页 |
| 1 绪论 | 第11-24页 |
| ·硅单晶体提拉法工业背景 | 第11-12页 |
| ·硅单晶体提拉效果控制方法 | 第12-15页 |
| ·传统串级PID控制 | 第12-13页 |
| ·模型预测控制 | 第13-14页 |
| ·模型预测控制研究背景 | 第14-15页 |
| ·模型预测的前沿问题 | 第15-19页 |
| ·工业过程的模型化 | 第15-16页 |
| ·机理建模和系统辨识 | 第16-17页 |
| ·线性模型与辨识 | 第17-18页 |
| ·状态空间模型的辨识------子空间方法 | 第18-19页 |
| ·模型预测控制算法 | 第19页 |
| ·模型预测控制的提出 | 第19-20页 |
| ·鲁棒预测控制 | 第20-22页 |
| ·本论文的主要研究内容 | 第22-24页 |
| 2 硅单晶体生长模型建模 | 第24-31页 |
| ·引言 | 第24页 |
| ·提拉单晶炉结构简介 | 第24页 |
| ·提拉法晶体生长简介 | 第24-26页 |
| ·提拉法等径原理 | 第26-28页 |
| ·提拉法等径公式 | 第28页 |
| ·晶体生长建模 | 第28-30页 |
| ·小结 | 第30-31页 |
| 3 拉速-温度串级PID控制系统 | 第31-45页 |
| ·引言 | 第31页 |
| ·串级PID控制原理及特点 | 第31-33页 |
| ·拉速-温度串级PID控制系统分析 | 第33-34页 |
| ·串级控制系统的设计 | 第34-39页 |
| ·副回路设计 | 第35页 |
| ·主回路设计 | 第35-37页 |
| ·串级系统主副调节器选型 | 第37页 |
| ·串级系统控制器PID参数整定方法 | 第37-39页 |
| ·带史密斯预估补偿的串级PID控制系统 | 第39-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 4 改进的模型预测控制 | 第45-61页 |
| ·引言 | 第45页 |
| ·动态矩阵控制 | 第45-50页 |
| ·预测模型 | 第46页 |
| ·滚动优化 | 第46-47页 |
| ·反馈校正 | 第47-48页 |
| ·参考轨迹 | 第48-49页 |
| ·控制器设计 | 第49-50页 |
| ·基于时变参考轨迹系数的动态矩阵控制 | 第50-53页 |
| ·系统仿真 | 第53-56页 |
| ·模型失配下仿真分析 | 第56-60页 |
| ·小结 | 第60-61页 |
| 5 鲁棒预测控制 | 第61-78页 |
| ·引言 | 第61页 |
| ·鲁棒控制理论 | 第61-63页 |
| ·数学基础 | 第62-63页 |
| ·不确定系统的鲁棒预测控制研究方法 | 第63-71页 |
| ·不确定系统的描述 | 第63-65页 |
| ·鲁棒预测控制的研究现状 | 第65-66页 |
| ·线性矩阵不等式(LMI)理论 | 第66-68页 |
| ·Lyapunov稳定性引理 | 第68页 |
| ·鲁棒控制器设计方法 | 第68-71页 |
| ·不确定时滞系统的输出反馈鲁棒预测控制 | 第71-74页 |
| ·仿真分析 | 第74-77页 |
| ·小结 | 第77-78页 |
| 6 结束与展望 | 第78-80页 |
| ·工作总结 | 第78-79页 |
| ·研究展望 | 第79-80页 |
| 参考文献 | 第80-82页 |
| 攻读学位期间发表的论文 | 第82页 |
| 致谢 | 第82页 |
