| 本论文创新点 | 第1-7页 |
| 论文摘要 | 第7-9页 |
| Abstract | 第9-13页 |
| 引言 | 第13-15页 |
| 第一章 绪论 | 第15-35页 |
| ·GAN材料的基本性质 | 第15-19页 |
| ·GAN材料发展现状 | 第19-22页 |
| ·GAN的应用与发展 | 第22-28页 |
| ·AZO以及透明导电薄膜的发展与应用 | 第28-33页 |
| ·本章小结 | 第33-35页 |
| 第二章 欧姆接触与肖特基接触 | 第35-47页 |
| ·欧姆接触与肖特基接触简介 | 第35-36页 |
| ·金属与半导体接触的整流效应 | 第36-39页 |
| ·金属半导体的欧姆接触 | 第39-41页 |
| ·欧姆接触与肖特基接触的研究意义以及研究现状 | 第41-44页 |
| ·TCO薄膜在GAN表面的应用与发展现状 | 第44-46页 |
| ·本论文的选题依据和工作安排 | 第46页 |
| ·本章小结 | 第46-47页 |
| 第三章 实验以及表征方法简介 | 第47-69页 |
| ·分子束外延 | 第47-51页 |
| ·电子束蒸发 | 第51-53页 |
| ·光刻与刻蚀技术 | 第53-58页 |
| ·半导体材料常用的表征手段 | 第58-69页 |
| 第四章 AZO/N-GAN肖特基二极管的研制与特性研究 | 第69-81页 |
| ·引言 | 第69-70页 |
| ·AZO/N-GAN肖特基结的制备 | 第70-75页 |
| ·实验结果与分析 | 第75-80页 |
| ·本章小结 | 第80-81页 |
| 第五章 AG/AZO在P-GAN上欧姆接触的制备 | 第81-95页 |
| ·引言 | 第81-82页 |
| ·欧姆接触的接触电阻率测量方法 | 第82-90页 |
| ·AG/AZO在P-GAN上的欧姆接触制备 | 第90-94页 |
| ·本章小结 | 第94-95页 |
| 第六章 全文总结 | 第95-97页 |
| 参考文献 | 第97-105页 |
| 攻读博士学位期间发表文章 | 第105-107页 |
| 致谢 | 第107页 |