| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 第1章 绪论 | 第9-16页 |
| ·课题来源及研究意义 | 第9-11页 |
| ·相关技术介绍 | 第11-15页 |
| ·国外发展状况 | 第12-14页 |
| ·国内发展状况 | 第14-15页 |
| ·本文研究主要内容 | 第15-16页 |
| 第2章 工件台和掩模台体模型建立 | 第16-31页 |
| ·引言 | 第16页 |
| ·工件台及掩模台工作原理 | 第16-22页 |
| ·单元模块介绍 | 第16-18页 |
| ·台体工作原理 | 第18-22页 |
| ·台体模型建立基础 | 第22-24页 |
| ·工件台台体模型建立 | 第24-27页 |
| ·掩模台台体模型建立 | 第27-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 第3章 工件台和掩模台运动解耦分析 | 第31-54页 |
| ·机械安装误差概述 | 第31页 |
| ·工件台及掩模台含误差模型解析 | 第31-40页 |
| ·工件台含差模型及解释 | 第32-36页 |
| ·掩模台含差模型及解释 | 第36-40页 |
| ·工件台及掩模台转换矩阵求逆 | 第40-48页 |
| ·工件台转矩求逆 | 第41-45页 |
| ·掩模台转矩求逆 | 第45-48页 |
| ·工件台及掩模台运动解耦验证 | 第48-53页 |
| ·基于 MFC 的解耦解算的 VC++可视化程序编写 | 第48-51页 |
| ·解耦解算验证 | 第51-53页 |
| ·本章小结 | 第53-54页 |
| 第4章 机械安装误差分析及参数预估 | 第54-65页 |
| ·含电机安装误差运动模型仿真建立 | 第54-56页 |
| ·仿真结果分析 | 第56-61页 |
| ·单误差下对单自由度运动的影响 | 第57-59页 |
| ·多误差下对单自由度运动的影响 | 第59-60页 |
| ·多误差下对多自由度运动的影响 | 第60-61页 |
| ·电机安装误差预估及台体重心定位 | 第61-63页 |
| ·本章小结 | 第63-65页 |
| 第5章 工件台和掩模台测量系统建模及解耦分析 | 第65-71页 |
| ·引言 | 第65页 |
| ·测量系统规划 | 第65-68页 |
| ·工件台测量系统规划 | 第65-67页 |
| ·掩模台测量系统规划 | 第67-68页 |
| ·工件台及掩模台测量模型解耦 | 第68-70页 |
| ·本章小结 | 第70-71页 |
| 结论 | 第71-72页 |
| 参考文献 | 第72-76页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文 | 第76-78页 |
| 致谢 | 第78页 |