基于Parylene的柔性生物微电极阵列的研究

摘要	第1-7页
ABSTRACT	第7-11页
第一章 绪论	第11-23页
·研究背景及意义	第11-12页
·国内外研究现状	第12-22页
·筛状电极	第13-14页
·卡肤电极	第14-16页
·剑状电极	第16-17页
·针形阵列微电极.	第17-19页
·平面微电极阵列.	第19-22页
·课题研究目的及内容	第22-23页
第二章 微电极阵列的设计与仿真	第23-36页
·微电极阵列的设计	第23-27页
·基底和封装材料.	第23-25页
·电极和引线材料.	第25页
·电极形貌	第25-26页
·版图设计	第26-27页
·微电极阵列的有限元仿真	第27-35页
·互连线电容有限元计算	第27-32页
·电极/电极液界面仿真	第32-35页
·本章小结	第35-36页
第三章 微电极阵列的制备工艺研究	第36-52页
·微电极阵列的制备工艺流程	第36-39页
·常规的刻蚀工艺.	第36-37页
·Lift-Off 工艺	第37-39页
·相关工艺研究	第39-48页
·光刻胶热熔	第39-43页
·Paylene C 的反应离子刻蚀	第43-48页
·器件样品	第48-51页
·本章小结	第51-52页
第四章 微电极电化学测试	第52-63页
·电极/电极液界面	第52-56页
·双电层结构的理论模型	第52-54页
·电极/电解液界面等效电路.	第54-56页
·电化学测试体系—三电极体系	第56-57页
·电极的交流阻抗谱测试	第57-62页
·本章小结	第62-63页
第五章 结论与展望	第63-65页
参考文献	第65-71页
ANSYS 有限元计算命令流—互连线电容（附录）	第71-76页
致谢	第76-77页
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文、专利	第77页