碳纳米管微离化传感器的应用研究

摘要	第1-6页
ABSTRACT	第6-9页
第一章 绪论	第9-20页
·气体传感器及其发展趋势	第9-10页
·基于碳纳米管的气体传感器	第10-14页
·碳纳米管电导式气体传感器	第11-13页
·碳纳米管电容式气体传感器	第13-14页
·碳纳米管电容式气体传感器	第14页
·呼吸传感器	第14-16页
·湿度传感器	第16-18页
·DBD 结构及其应用	第18-19页
·本论文的研究内容	第19-20页
第二章 碳纳米管微电极结构与制备	第20-26页
·金属覆层结构	第20-25页
·金属覆层结构工艺流程	第21-22页
·金属覆层结构的表征和工艺参数控制	第22-25页
·DBD 结构	第25页
·本章小结	第25-26页
第三章 传感器制备	第26-35页
·侧壁结构器件制备	第26-32页
·侧壁结构工艺流程	第26-29页
·器件结构的表征	第29-30页
·侧壁结构基本性能测试	第30-32页
·DBD 结构器件的制备	第32-34页
·DBD 结构工艺流程及表征	第32-33页
·DBD 结构基本性能测试	第33-34页
·本章小结	第34-35页
第四章 传感器性能研究	第35-53页
·传感器性能测试装置和方法	第35-41页
·传感器性能	第41-50页
·呼吸传感机理分析	第50-52页
·本章小结	第52-53页
第五章 传感器应用技术研究	第53-61页
·便携式呼吸传感器系统简介	第53-55页
·呼吸检测电路的设计	第55-57页
·呼吸传感器的SOPC 实现	第57-60页
·本章小结	第60-61页
第六章 总结与展望	第61-64页
·基本结论	第61-62页
·存在的问题	第62-63页
·展望	第63-64页
参考文献	第64-67页
致谢	第67-68页
攻读硕士学位期间已发表或录用的论文	第68页