| 摘要 | 第1-5页 |
| ABSTRACT | 第5-9页 |
| 第一章 引言 | 第9-17页 |
| ·ZNO 薄膜的应用现状 | 第9-11页 |
| ·ZNO 薄膜的制备方法 | 第11-13页 |
| ·压电声传感器的国内外发展现状 | 第13-15页 |
| ·本课题的研究意义及主要工作 | 第15-17页 |
| 第二章 ZNO 薄膜制备及表征方法 | 第17-23页 |
| ·ZNO 薄膜的制备 | 第17-20页 |
| ·ZNO 薄膜的制备与表征方法 | 第20-22页 |
| ·小结 | 第22-23页 |
| 第三章 ZNO 薄膜的分析 | 第23-45页 |
| ·直流反应溅射制备ZNO 薄膜的分析 | 第23-24页 |
| ·射频溅射制备薄膜的分析 | 第24-37页 |
| ·退火对薄膜的影响 | 第37-44页 |
| ·小结 | 第44-45页 |
| 第四章 ZNO 压电薄膜声传感器的有限元仿真及优化 | 第45-68页 |
| ·压电效应方程 | 第45-46页 |
| ·压电声传感器的结构及原理 | 第46-47页 |
| ·压电材料的有限元方程 | 第47-51页 |
| ·有限元分析及建模 | 第51-58页 |
| ·声传感器结构的仿真 | 第58-62页 |
| ·压电声传感器结构的优化设计 | 第62-64页 |
| ·传感器结构尺寸对振动模态的影响 | 第64-67页 |
| ·小结 | 第67-68页 |
| 第五章 结论与建议 | 第68-70页 |
| ·结论 | 第68-69页 |
| ·建议 | 第69-70页 |
| 致谢 | 第70-71页 |
| 参考文献 | 第71-76页 |
| 攻读硕士期间取得的研究成果 | 第76-77页 |