| 摘要 | 第1-5页 |
| Abstract | 第5-9页 |
| 1. 引言 | 第9-23页 |
| ·立题背景 | 第9-12页 |
| ·冶金法主要技术构成 | 第12-18页 |
| ·酸洗去除金属杂质 | 第13页 |
| ·定向凝固提纯 | 第13-15页 |
| ·电子束熔炼提纯 | 第15-16页 |
| ·渣洗精炼去除杂质硼 | 第16-17页 |
| ·合金法等其它方法 | 第17-18页 |
| ·已经产业化应用的冶金法技术路线 | 第18-21页 |
| ·日本Kawasaki Steel公司冶金法技术路线 | 第18-19页 |
| ·美国Dow Corning公司冶金法技术路线 | 第19页 |
| ·挪威ELKEM公司冶金法技术路线 | 第19-20页 |
| ·宁夏发电集团冶金法技术路线 | 第20-21页 |
| ·厦门佳科冶金法技术路线 | 第21页 |
| ·本文研究的主要目的及内容 | 第21-23页 |
| 2. 硅中杂质去除的理论基础 | 第23-31页 |
| ·杂质在硅中的分凝效应 | 第23-24页 |
| ·硅中杂质Al、Ca的热力学分析 | 第24-26页 |
| ·硅中Al、Ca杂质的动力学分析 | 第26-28页 |
| ·元素通过液相边界层的传质速率 | 第26页 |
| ·元素在熔体表面的挥发速率 | 第26-27页 |
| ·元素通过气相边界层的传质速率 | 第27页 |
| ·总的蒸发速率 | 第27-28页 |
| ·硅中蒸发性杂质在电子束下的去除机理 | 第28-30页 |
| ·本章小结 | 第30-31页 |
| 3 实验方法及过程 | 第31-42页 |
| ·实验设备 | 第31-35页 |
| ·定向凝固设备 | 第31-33页 |
| ·电子束设备 | 第33-35页 |
| ·实验设计 | 第35-37页 |
| ·一次定向凝固 | 第35页 |
| ·电子束熔炼去除Al、Ca杂质实验 | 第35-36页 |
| ·定向凝固结合电子束去除Al、Ca杂质实验 | 第36页 |
| ·电子束结合降束凝固去除Al、Ca杂质实验 | 第36-37页 |
| ·实验方法 | 第37-42页 |
| ·定向凝固实验方法 | 第37-39页 |
| ·电子束实验方法 | 第39-40页 |
| ·定向凝固与电子束依次去除多晶硅中Al、Ca杂质实验方法 | 第40-41页 |
| ·电子束降束凝固实验方法 | 第41-42页 |
| 4. 实验结果与分析 | 第42-55页 |
| ·一次定向凝固实验结果与分析 | 第42-45页 |
| ·电子束熔炼去除杂质Al和Ca实验结果与分析 | 第45-47页 |
| ·定向凝固结合电子束熔炼去除杂质Al和Ca实验结果与分析 | 第47-48页 |
| ·电子束熔炼结合降束凝固去除杂质Al和Ca实验结果与分析 | 第48-54页 |
| ·本章小结 | 第54-55页 |
| 结论 | 第55-56页 |
| 参考文献 | 第56-59页 |
| 攻读硕士学位期间发表学术论文情况 | 第59-60页 |
| 致谢 | 第60-61页 |
