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基于电场调制理论的纳米MOSFET新结构研究

摘要第5-7页
abstract第7-8页
博士学位论文创新成果自评表第9-12页
第1章 绪论第12-23页
    1.1 研究背景及意义第12-13页
    1.2 电场调制技术的发展和研究现状第13-21页
        1.2.1 栅工程第13-16页
        1.2.2 沟道工程第16-17页
        1.2.3 侧墙工程第17-21页
    1.3 论文的主要研究内容第21-23页
第2章 基于栅工程的DMCGDGJLT第23-46页
    2.1 栅工程的理论模型第23-27页
    2.2 DMCGDGJLT新结构第27-31页
        2.2.1 JLT器件的发展第27-29页
        2.2.2 DMCGDGJLT设计原理第29-31页
    2.3 DMCGDGJLT工作原理第31-33页
    2.4 DMCGDGJLT优化设计第33-40页
        2.4.1 沟道长度优化第34页
        2.4.2 掺杂浓度优化第34-38页
        2.4.3 栅极功函数优化第38-40页
    2.5 DMCGDGJLT性能分析第40-45页
        2.5.1 电学特性第40-43页
        2.5.2 灵敏度特性第43-45页
    2.6 本章小结第45-46页
第3章 基于沟道工程的GC-DGFET第46-75页
    3.1 沟道工程的理论模型第46-50页
    3.2 GC-DGFET新结构第50-55页
        3.2.1 电荷等离子体概念的介绍第50-52页
        3.2.2 GC-DGFET设计原理第52-54页
        3.2.3 GC-DGFET实现工艺设计第54-55页
    3.3 GC-DGFET工作原理和优化设计第55-60页
        3.3.1 工作原理第56-57页
        3.3.2 优化设计第57-60页
    3.4 GC-DGFET性能分析第60-69页
        3.4.1 DC特性第60-62页
        3.4.2 AC特性第62-66页
        3.4.3 灵敏度特性第66-68页
        3.4.4 温度特性第68-69页
    3.5 GC-DGFET单粒子辐射特性第69-73页
    3.6 本章小结第73-75页
第4章 基于侧墙工程的High-κ及双κ侧墙GC-DGFET第75-111页
    4.1 侧墙工程理论第75-81页
    4.2 High-κ侧墙GC-DGFET新结构及其电学特性第81-93页
        4.2.1 工作原理第82-85页
        4.2.2 DC性能分析第85-90页
        4.2.3 AC性能分析第90-93页
    4.3 双κ侧墙GC-DGFET新结构及其电学特性第93-110页
        4.3.1 双κ侧墙GC-DGFET新结构第93-95页
        4.3.2 内侧high-κ侧墙长度优化第95-97页
        4.3.3 电学特性第97-106页
        4.3.4 双κ侧墙GC-DGFET电容和本征延迟特性第106-110页
    4.4 本章小结第110-111页
结论第111-114页
参考文献第114-134页
攻读博士学位期间发表的论文和取得的科研成果第134-135页
致谢第135-136页

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