天通公司大尺寸蓝宝石C向长晶控制系统设计与实现
| 摘要 | 第5-6页 |
| ABSTRACT | 第6-7页 |
| 第一章 绪论 | 第11-22页 |
| 1.1 蓝宝石长晶技术的发展 | 第12-20页 |
| 1.1.1 蓝宝石简介 | 第12-15页 |
| 1.1.2 蓝宝石应用领域 | 第15-16页 |
| 1.1.3 蓝宝石主要长晶技术分析 | 第16-18页 |
| 1.1.4 国内外技术途径对比分析 | 第18-20页 |
| 1.1.4.1 国外主要技术途径 | 第18-19页 |
| 1.1.4.2 国内主要技术途径 | 第19-20页 |
| 1.2 本论文主要工作 | 第20-21页 |
| 1.3 本论文的结构安排 | 第21-22页 |
| 第二章 长晶自动控制系统设计方案 | 第22-39页 |
| 2.1 设计综述 | 第22页 |
| 2.2 设计要求 | 第22-23页 |
| 2.3 论文设计方案设置 | 第23-24页 |
| 2.4 研制方案及技术途径 | 第24页 |
| 2.5 技术路线 | 第24-25页 |
| 2.6 可借鉴的技术 | 第25-26页 |
| 2.6.1 热力场控制技术 | 第25-26页 |
| 2.6.2 动力场控制技术 | 第26页 |
| 2.6.3 气力场及压力场控制技术 | 第26页 |
| 2.6.4 提拉速度控制技术 | 第26页 |
| 2.7 产品关键技术难点及计划的解决措施 | 第26-33页 |
| 2.7.1 关键技术难点一：建立C向长晶温度梯度 | 第28-29页 |
| 2.7.2 计划采用的技术方案 | 第29页 |
| 2.7.3 关键技术难点二：晶体内应力残留的降低 | 第29-30页 |
| 2.7.4 计划采用的技术方案 | 第30-33页 |
| 2.8 新技术及其可行性分析 | 第33-35页 |
| 2.8.1 新技术一：CGIC法C向长晶 | 第33-34页 |
| 2.8.2 新技术二：新保温材料的使用 | 第34-35页 |
| 2.8.3 新技术三：双加热系统的设计 | 第35页 |
| 2.9 关键工艺和工艺难点分析 | 第35-36页 |
| 2.9.1 引晶工艺 | 第35-36页 |
| 2.9.2 同炉退火工艺 | 第36页 |
| 2.10新工艺及其可行性分析 | 第36-37页 |
| 2.10.1 高精度引晶工艺 | 第36-37页 |
| 2.10.2 快速放肩工艺 | 第37页 |
| 2.10.3 自动长晶工艺 | 第37页 |
| 2.11本章小结 | 第37-39页 |
| 第三章 长晶自动控制系统的硬件设计 | 第39-50页 |
| 3.1 单片机最小系统的设计 | 第39-41页 |
| 3.2 单片机电源电路的设计 | 第41-42页 |
| 3.3 键盘电路的设计 | 第42页 |
| 3.4 LCD12864液晶屏显示电路 | 第42-44页 |
| 3.5 单片机模/数转换模块 | 第44-45页 |
| 3.6 单片机数/模转换模块 | 第45-46页 |
| 3.7 镍铬镍硅热电偶温度传感器 | 第46-47页 |
| 3.8 I/V变换 | 第47-48页 |
| 3.9 V/I变换 | 第48页 |
| 3.10长晶炉加热电源 | 第48-49页 |
| 3.11 本章小结 | 第49-50页 |
| 第四章 长晶自动控制系统的软件设计及仿真 | 第50-62页 |
| 4.1 系统软件流程图 | 第50-51页 |
| 4.2 键盘显示程序设计 | 第51-52页 |
| 4.3 定时中断程序设计 | 第52页 |
| 4.4 数据采集中断程序的设计 | 第52-54页 |
| 4.5 LCD12864显示模块时序 | 第54-55页 |
| 4.6 数字PID程序 | 第55-56页 |
| 4.7 算术平均值滤波 | 第56页 |
| 4.8 标度变换 | 第56-57页 |
| 4.9 程序 | 第57-59页 |
| 4.10 主回路整定 | 第59-60页 |
| 4.11 副回路整定 | 第60-61页 |
| 4.12 本章小结 | 第61-62页 |
| 第五章 长晶试验验证及产业化 | 第62-73页 |
| 5.1 长晶设备组成 | 第62-63页 |
| 5.2 长晶具体过程 | 第63-67页 |
| 5.3 产品品质情况 | 第67-68页 |
| 5.4 量产情况 | 第68-70页 |
| 5.5 晶体优势 | 第70-73页 |
| 第六章 结论 | 第73-75页 |
| 6.1 本文的主要贡献 | 第73页 |
| 6.2 下一步工作展望 | 第73-75页 |
| 致谢 | 第75-76页 |
| 参考文献 | 第76-79页 |
| 攻硕期间取得的研究成果 | 第79-80页 |
| 附件 | 第80-81页 |
