变焦显微镜物镜驱动控制系统设计
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5页 |
| 1 绪论 | 第8-15页 |
| 1.1 课题来源 | 第8页 |
| 1.2 课题研究背景 | 第8-9页 |
| 1.3 国内外概况 | 第9-13页 |
| 1.4 主要工作与技术指标 | 第13-15页 |
| 2 控制系统整体设计与建模分析 | 第15-22页 |
| 2.1 物镜驱动定位系统整体设计 | 第15-16页 |
| 2.2 机电建模与分析 | 第16-21页 |
| 2.3 本章小结 | 第21-22页 |
| 3 全模拟音圈电机驱动电路设计 | 第22-34页 |
| 3.1 模拟电流环设计及仿真 | 第22-25页 |
| 3.2 驱动电路硬件设计 | 第25-30页 |
| 3.3 音圈电机驱动电路仿真测试 | 第30-33页 |
| 3.4 本章小结 | 第33-34页 |
| 4 位置环定位控制硬件设计 | 第34-43页 |
| 4.1 定位控制整体设计 | 第34-35页 |
| 4.2 通信模块设计 | 第35-36页 |
| 4.3 激光干涉计量信号处理模块设计 | 第36-40页 |
| 4.4 DA输出电路设计 | 第40-42页 |
| 4.5 本章小结 | 第42-43页 |
| 5 位置环PID定位控制算法设计 | 第43-49页 |
| 5.1 PID控制算法 | 第43-44页 |
| 5.2 PID控制算法软件实现 | 第44-46页 |
| 5.3 关键控制参数整定 | 第46-48页 |
| 5.4 本章小结 | 第48-49页 |
| 6 物镜驱动定位测试实验 | 第49-57页 |
| 6.1 驱动电路特性实验 | 第49-52页 |
| 6.2 物镜定位测试实验 | 第52-56页 |
| 6.3 本章小结 | 第56-57页 |
| 7 总结与展望 | 第57-59页 |
| 7.1 全文总结 | 第57-58页 |
| 7.2 展望 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59-60页 |
| 参考文献 | 第60-64页 |
| 附录Ⅰ 攻读硕士期间发表的论文 | 第64页 |
