| 摘要 | 第2-3页 |
| Abstract | 第3页 |
| 第一章 绪论 | 第5-12页 |
| 1.1. 研究背景 | 第5-7页 |
| 1.2. 光刻热点问题研究现状 | 第7-10页 |
| 1.3. 本文主要内容与组织结构 | 第10-12页 |
| 第二章 光刻热点聚类方法回顾 | 第12-29页 |
| 2.1. 相似度距离测度方法 | 第12-21页 |
| 2.2. 聚类分析方法 | 第21-27页 |
| 2.3. 本章小结 | 第27-29页 |
| 第三章 改进型正切空间距离测度热点聚类实现 | 第29-42页 |
| 3.1. 程序文件及关系说明 | 第29-30页 |
| 3.2. 数据结构与函数 | 第30-38页 |
| 3.3. 总体流程与用法说明 | 第38-41页 |
| 3.4. 本章小结 | 第41-42页 |
| 第四章 光刻热点聚类测试 | 第42-50页 |
| 4.1. 测试用例生成 | 第42-44页 |
| 4.2. 功能测试 | 第44-48页 |
| 4.3. 精度和时间测试对比 | 第48-49页 |
| 4.4. 实验结论 | 第49-50页 |
| 第五章 总结与展望 | 第50-51页 |
| 致谢 | 第51-52页 |
| 参考文献 | 第52-54页 |