| 摘要 | 第3-5页 |
| ABSTRACT | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-21页 |
| 1.1 研究背景 | 第9-10页 |
| 1.2 典型光学谐振腔的研究进展 | 第10-15页 |
| 1.2.1 FP谐振腔 | 第10-13页 |
| 1.2.2 微环谐振腔 | 第13-15页 |
| 1.3 共振光隧穿谐振腔的研究进展 | 第15-18页 |
| 1.4 本论文的主要内容 | 第18-21页 |
| 第二章 共振光隧穿效应（ROTE）传输特性研究 | 第21-35页 |
| 2.1 传输矩阵法（TMM） | 第21-24页 |
| 2.2 Mathematica软件介绍 | 第24-25页 |
| 2.3 ROTE的参数研究 | 第25-34页 |
| 2.3.1 共振腔宽度参数研究 | 第25-27页 |
| 2.3.2 隧穿层厚度参数研究 | 第27-32页 |
| 2.3.3 光源波长参数研究 | 第32-34页 |
| 2.4 本章小结 | 第34-35页 |
| 第三章 共振光隧穿效应场分布研究 | 第35-47页 |
| 3.1 基于时域有限差分法的FDTD Solutions软件介绍 | 第35-37页 |
| 3.2 ROTE结构的仿真分析 | 第37-45页 |
| 3.2.1 ROTE仿真模型建立 | 第37-38页 |
| 3.2.2 P偏振态光源下的仿真分析 | 第38-42页 |
| 3.2.3 S偏振态光源下的仿真分析 | 第42-45页 |
| 3.3 本章小结 | 第45-47页 |
| 第四章 基于ROTE的加速度传感器应用设计 | 第47-63页 |
| 4.1 COMSOL仿真软件介绍 | 第47-48页 |
| 4.2 加速度计的结构设计 | 第48-52页 |
| 4.2.1 加速度计模型及参数设计 | 第48-50页 |
| 4.2.2 加速度计振动分析 | 第50-52页 |
| 4.3 基于频谱的位移检测分析 | 第52-55页 |
| 4.4 加速度计的COMSOL仿真分析 | 第55-62页 |
| 4.4.1 悬臂梁尺寸分析 | 第55-57页 |
| 4.4.2 振动模态分析 | 第57-59页 |
| 4.4.3 谐响应分析 | 第59-60页 |
| 4.4.4 灵敏度分析 | 第60-62页 |
| 4.5 本章小结 | 第62-63页 |
| 第五章 总结与展望 | 第63-65页 |
| 5.1 工作总结 | 第63-64页 |
| 5.2 工作展望 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-69页 |
| 致谢 | 第69-70页 |
| 攻读硕士学位期间发表的学术论文及所取得的研究成果 | 第70页 |