| 摘要 | 第5-7页 |
| Abstract | 第7-8页 |
| 目录 | 第9-12页 |
| 第1章 绪论 | 第12-28页 |
| 1.1 研究背景与研究意义 | 第12-18页 |
| 1.2 国内外发展现状 | 第18-26页 |
| 1.2.1 光刻机的国内外发展现状 | 第18-20页 |
| 1.2.2 光刻投影物镜热分析国内外研究现状 | 第20-23页 |
| 1.2.3 光刻投影物镜热像差补偿的国内外研究现状 | 第23-26页 |
| 1.3 研究内容与章节划分 | 第26-28页 |
| 1.3.1 论文研究内容 | 第26-27页 |
| 1.3.2 章节安排 | 第27-28页 |
| 第2章 光刻投影物镜热/光学分析基础 | 第28-44页 |
| 2.1 光刻投影物镜的成像过程 | 第28-31页 |
| 2.2 Zernike多项式 | 第31-34页 |
| 2.3 各像差项对投影物镜曝光性能的影响 | 第34-37页 |
| 2.4 投影物镜热/结构分析基础 | 第37-39页 |
| 2.4.1 热传导基本方程 | 第37-38页 |
| 2.4.2 热弹性力学基本方程 | 第38-39页 |
| 2.5 分析用深紫外光刻投影物镜参数解析 | 第39-42页 |
| 2.5.1 物镜参数 | 第39页 |
| 2.5.2 照明光功率 | 第39页 |
| 2.5.3 掩模图案 | 第39-40页 |
| 2.5.4 投影物镜工作时序 | 第40-41页 |
| 2.5.5 光刻投影物镜的机械结构 | 第41-42页 |
| 小结 | 第42-44页 |
| 第3章 深紫外光刻投影物镜热像差求解 | 第44-68页 |
| 3.1 模型结构 | 第44-45页 |
| 3.2 光强求解建模 | 第45-47页 |
| 3.2.1 光源与物面建模 | 第45页 |
| 3.2.2 光强求解与输出 | 第45-47页 |
| 3.3 热/结构求解模型 | 第47-51页 |
| 3.3.1 温度求解模型 | 第48-50页 |
| 3.3.2 透镜应力/应变求解模型 | 第50-51页 |
| 3.4 投影物镜像差求解模型 | 第51-55页 |
| 3.4.1 面形数据的预处理 | 第51-53页 |
| 3.4.2 温度数据的预处理 | 第53-55页 |
| 3.5 热像差求解结果 | 第55-66页 |
| 3.5.1 传统照明条件下的热像差 | 第55-58页 |
| 3.5.2 偶极照明条件下的热像差 | 第58-61页 |
| 3.5.3 四极照明条件下的热像差 | 第61-64页 |
| 3.5.4 环形照明条件下的热像差 | 第64-66页 |
| 小结 | 第66-68页 |
| 第4章 热像差快速求解算法 | 第68-84页 |
| 4.1 光强 温度/应变快速求解的理论证明 | 第68-70页 |
| 4.2 温度/应变快速求解精度 | 第70-77页 |
| 4.2.1 温度求解精度 | 第72-73页 |
| 4.2.2 面形求解精度 | 第73-74页 |
| 4.2.3 误差来源 | 第74-75页 |
| 4.2.4 求解精度与透镜工作时间的关系 | 第75-77页 |
| 4.3 温度 像差快速求解算法 | 第77-82页 |
| 小结 | 第82-84页 |
| 第5章 红外像差补偿系统设计 | 第84-104页 |
| 5.1 设计约束与设计要求 | 第87-88页 |
| 5.2 像差补偿系统方案设计 | 第88-92页 |
| 5.3 红外像差补偿系统补偿效果分析 | 第92-102页 |
| 5.3.1 振镜扫描照明与直接照明补偿效果对比 | 第92-94页 |
| 5.3.2 直接补偿法对偶极照明情况的补偿效果 | 第94-98页 |
| 5.3.3 采用灵敏度法求解红外照明光分布时的补偿效果 | 第98-102页 |
| 小结 | 第102-104页 |
| 第6章 总结与展望 | 第104-106页 |
| 6.1 全文总结 | 第104-105页 |
| 6.2 展望 | 第105-106页 |
| 参考文献 | 第106-114页 |
| 在学期间学术成果情况 | 第114-116页 |
| 指导教师及作者简介 | 第116-118页 |
| 致谢 | 第118页 |