| 中文摘要 | 第1-4页 |
| Abstract | 第4-6页 |
| 目录 | 第6-8页 |
| 第一章 绪论 | 第8-20页 |
| ·研究背景及意义 | 第8-9页 |
| ·模型预测控制的发展及研究现状 | 第9-11页 |
| ·多模型预测控制的发展及研究现状 | 第11-14页 |
| ·直拉硅单晶炉 | 第14-19页 |
| ·直拉硅单晶炉结构 | 第14-17页 |
| ·直拉硅单晶炉控制系统 | 第17-19页 |
| ·本文主要研究内容和组织结构 | 第19-20页 |
| 第二章 状态空间模型预测控制算法 | 第20-27页 |
| ·模型预测控制基本原理 | 第20-22页 |
| ·预测模型 | 第21页 |
| ·滚动优化 | 第21页 |
| ·反馈校正 | 第21-22页 |
| ·状态空间模型预测控制算法 | 第22-26页 |
| ·预测模型 | 第22-23页 |
| ·系统的预测控制解 | 第23-25页 |
| ·约束的处理 | 第25-26页 |
| ·本章小结 | 第26-27页 |
| 第三章 模型预测控制在单晶炉温度控制中的应用研究 | 第27-42页 |
| ·直拉单晶硅工艺流程 | 第27-28页 |
| ·单晶炉控制系统问题分析 | 第28-32页 |
| ·主控制器特点 | 第29-30页 |
| ·受控对象复杂 | 第30-32页 |
| ·等径阶段温度控制 | 第32页 |
| ·等径阶段温度模型辨识 | 第32-35页 |
| ·数据预处理 | 第33页 |
| ·模型获得及验证 | 第33-35页 |
| ·模型预测控制器设计及其仿真 | 第35-39页 |
| ·模型预测控制器参数调整策略及其仿真 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-42页 |
| 第四章 多模型预测控制在单晶炉温度控制中的应用研究 | 第42-53页 |
| ·多模型建模方法 | 第42-43页 |
| ·多模型预测控制原理 | 第43-44页 |
| ·多模型预测控制切换和加权策略 | 第44-46页 |
| ·切换多模型预测控制 | 第44-45页 |
| ·加权多模型预测控制 | 第45-46页 |
| ·单晶炉全工况温度控制问题描述 | 第46-47页 |
| ·单晶炉全工况温度模型辨识 | 第47-50页 |
| ·单晶炉全工况温度控制及其仿真 | 第50-52页 |
| ·模型预测控制模型失配及其仿真 | 第50-51页 |
| ·多模型预测控制及其仿真 | 第51-52页 |
| ·本章小结 | 第52-53页 |
| 第五章 结论 | 第53-55页 |
| ·主要结论 | 第53页 |
| ·研究展望 | 第53-55页 |
| 参考文献 | 第55-58页 |
| 在学期间的研究成果 | 第58-59页 |
| 致谢 | 第59页 |