晶圆传输机器人关键控制技术研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-9页
第1章 绪论	第9-18页
·课题的研究目的和意义	第9-10页
·国内外研究现状	第10-16页
·晶圆传输机器人发展现状	第10-14页
·晶圆传输机器人轨迹控制技术研究现状	第14-15页
·误差分析与标定技术研究现状	第15-16页
·主要研究内容	第16-18页
第2章 晶圆传输机器人建模	第18-31页
·晶圆传输机器人结构及性能要求	第18-20页
·晶圆传输机器人结构	第18-19页
·晶圆传输机器人的性能要求	第19-20页
·晶圆传输机器人运动学分析	第20-24页
·晶圆传输机器人运动学建模	第20-22页
·晶圆传输机器人运动空间及分辨率分析	第22-24页
·晶圆传输机器人动力学分析	第24-30页
·晶圆传输机器人动力学模型	第24-27页
·晶圆传输机器人刚体动力学数值仿真	第27-30页
·本章小结	第30-31页
第3章 晶圆传输机器人快速平稳轨迹控制	第31-48页
·晶圆传输机器人控制系统设计	第31-34页
·晶圆传输机器人控制系统硬件实现	第31-33页
·晶圆传输机器人控制系统软件实现	第33-34页
·晶圆传输机器人快速平稳轨迹规划	第34-47页
·晶圆传输机器人路径自动生成算法	第34-38页
·特定路径下时间最优轨迹规划原理	第38-42页
·晶圆传输机器人快速平稳轨迹规划	第42-43页
·仿真实验	第43-47页
·本章小结	第47-48页
第4章 晶圆传输机器人误差分析及标定	第48-58页
·晶圆传输机器人误差分析	第48-54页
·晶圆传输机器人误差模型建立	第48-52页
·晶圆传输机器人误差灵敏度分析	第52-54页
·晶圆传输机器人标定	第54-57页
·机器人运动学标定原理	第54-56页
·晶圆传输机器人标定仿真	第56-57页
·本章小结	第57-58页
第5章 晶圆传输机器人实验研究与性能测试	第58-67页
·晶圆传输机器人实验系统搭建	第58-59页
·晶圆传输机器人快速平稳轨迹振动测试实验	第59-61页
·晶圆传输机器人标定实验	第61-64页
·末端位置测量方案及测量坐标系确定	第61-62页
·标定前机器人末端的定位误差	第62-63页
·分步标定及误差补偿	第63-64页
·晶圆传输机器人动力学参数辨识实验	第64-66页
·晶圆传输机器人性能测试	第66页
·本章小结	第66-67页
结论	第67-68页
参考文献	第68-73页
附录	第73-75页
致谢	第75页