异质栅器件的短沟道效应研究
| 摘要 | 第1-4页 |
| ABSTRACT | 第4-7页 |
| 第一章 绪论 | 第7-13页 |
| ·研究背景 | 第7-9页 |
| ·异质栅器件的国内外研究进展 | 第9-11页 |
| ·主要内容 | 第11-13页 |
| 第二章 器件结构与物理模型的建立 | 第13-27页 |
| ·器件结构的建立与结构参数的选取 | 第13-14页 |
| ·器件结构的建立 | 第13-14页 |
| ·结构参数的选取 | 第14页 |
| ·基于ISE-TCAD 物理模型的选取 | 第14-25页 |
| ·ISE-TCAD 软件简介 | 第14-19页 |
| ·物理模型选取 | 第19-25页 |
| ·本章小结 | 第25-27页 |
| 第三章 异质栅器件的输出特性分析 | 第27-37页 |
| ·载流子过冲效应 | 第27-30页 |
| ·载流子速度过冲效应理论基础 | 第27-28页 |
| ·HMGFET 中的载流子速度过冲研究 | 第28-30页 |
| ·异质栅(HMGFET)的输出特性曲线 | 第30-34页 |
| ·MOS 器件输出特性曲线简介 | 第30-31页 |
| ·异质栅器件(HMGFET)的输出特性曲线 | 第31-34页 |
| ·本章小结 | 第34-37页 |
| 第四章 三异质栅器件的短沟道效应研究 | 第37-49页 |
| ·三异质栅器件的阈值电压特性 | 第37-40页 |
| ·短沟道器件的阈值电压模型 | 第37-39页 |
| ·三异质栅器件的阈值漂移特性 | 第39-40页 |
| ·漏致势垒降低(DIBL)效应 | 第40-44页 |
| ·漏致势垒降低效应简介 | 第40-42页 |
| ·漏致势垒降低(DIBL)效应理论分析 | 第42-43页 |
| ·三异质栅器件的漏致势垒降低(DIBL)特性分析 | 第43-44页 |
| ·三异质栅器件的亚阈值性能分析 | 第44-48页 |
| ·亚阈值斜率 | 第44-45页 |
| ·三异质栅器件的亚阈值斜率 | 第45-48页 |
| ·本章小结 | 第48-49页 |
| 第五章 总结 | 第49-51页 |
| 致谢 | 第51-53页 |
| 参考文献 | 第53-57页 |