| 摘要 | 第1-7页 |
| Abstract | 第7-12页 |
| 第一章 文献综述 | 第12-37页 |
| ·SOI材料及技术的简单历史回顾 | 第12-23页 |
| ·SOI相对于体硅材料的优越性及其应用 | 第23-31页 |
| ·SOI在应用中存在的问题 | 第31-34页 |
| ·本论文的研究目的和主要工作 | 第34-37页 |
| 第二章 以AlN为埋层的SOI新结构 | 第37-67页 |
| ·SOI的自加热效应 | 第37-41页 |
| ·AlN薄膜的制备 | 第41-47页 |
| ·AlN为埋层的SOI结构的制备和表征 | 第47-51页 |
| ·SOI器件自加热效应的计算机模拟 | 第51-63页 |
| ·本章小结 | 第63-67页 |
| 第三章 埋层接地的GPSOI结构 | 第67-88页 |
| ·传统射频集成电路在发展中所面临的问题 | 第67-73页 |
| ·SOI材料在射频集成电路中的应用 | 第73-78页 |
| ·GPSOI结构的制备和特性表征 | 第78-83页 |
| ·GPSOI结构抗串扰性能的初步研究 | 第83-84页 |
| ·本章小节 | 第84-88页 |
| 第四章 SOI上高k栅介质材料的制备与特性研究 | 第88-110页 |
| ·高k介质材料的研究背景及现状 | 第88-99页 |
| ·SOI上高k栅介质材料的制备 | 第99-103页 |
| ·SOI上高k栅介质材料的特性研究 | 第103-107页 |
| ·本章小结 | 第107-110页 |
| 第五章 SOI衬底上射频元件一共平面波导的特性研究 | 第110-128页 |
| ·微波集成电路中常用的传输线及其损耗分析 | 第110-114页 |
| ·SOI衬底上共平面波导传输线的制备 | 第114-117页 |
| ·共平面波导的测试系统及测试参数 | 第117-119页 |
| ·SOI衬底上共平面波导的特性测试 | 第119-125页 |
| ·本章小结 | 第125-128页 |
| 第六章 SOI结构在传感器领域的应用及ZnO纳米线湿度传感器 | 第128-147页 |
| ·SOI传感器 | 第128-130页 |
| ·湿度传感器的研究现状 | 第130-134页 |
| ·ZnO纳米线湿度传感器的制作及特性研究 | 第134-143页 |
| ·SOI结构为基片衬底的ZnO纳米线传感器的设想 | 第143-144页 |
| ·本章小节 | 第144-147页 |
| 第七章 总结与下一步工作 | 第147-151页 |
| ·论文工作总结 | 第147-149页 |
| ·下一步工作 | 第149-151页 |
| 致谢 | 第151-152页 |
| 攻读学位期间发表的学术论文目录 | 第152-153页 |