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聚合物基MEMS技术在生物医学上的应用研究

摘要第1-6页
ABSTRACT第6-11页
第一章 前言第11-22页
   ·视觉神经修复第11-19页
     ·人眼睛的光学结构第11-12页
     ·人眼睛的生理结构第12-13页
     ·人眼感光结构及原理第13-15页
     ·人视觉传输和视觉缺陷的原因第15页
     ·目前视觉修复的几个途径第15-16页
     ·已经提出的视觉系统电刺激视觉修复的方案第16-18页
     ·视网膜视觉修复系统的组成第18-19页
     ·已经进行的视觉修复的生物体实验第19页
   ·视网膜视觉修复电极阵列第19-21页
     ·MEMS技术简介第20页
     ·柔性MEMS技术简介第20页
     ·目前研制成功的生物电极阵列第20-21页
   ·SU-8 微结构对MCF-7 乳腺癌细胞生长的影响第21页
   ·本论文研究的内容第21-22页
第二章 三维生物电极阵列的制备第22-30页
   ·人体植入生物电极阵列的特点第22-23页
   ·生物电极阵列的结构设计第23-26页
   ·生物电极阵列的材料选择第26-27页
   ·生物电极阵列的制备工艺流程第27-30页
第三章 生物电极阵列制备的结果与讨论第30-42页
   ·生物电极阵列制备过程中遇到的问题与解决办法第30-39页
     ·聚酰亚胺涂胶第30-31页
     ·PI与Cu导电层的结合力问题第31-33页
     ·导线的制备第33页
     ·Au与Cu导电层的结合力问题第33页
     ·电极的保护第33-35页
     ·种子层的去除问题第35-37页
     ·Cu导线的保护问题第37-38页
     ·电极的分离第38-39页
   ·我们制备生物电极阵列的性能第39-42页
第四章SU-8 微结构对MCF-7 乳腺癌细胞生长的影响第42-51页
   ·LIGA技术简介第42-43页
   ·LIGA-like技术第43-44页
     ·UV-LIGA技术第43页
     ·DEM技术第43-44页
     ·准分子激光刻蚀技术第44页
   ·SU-8 光刻胶技术第44-45页
     ·SU-8 光刻胶组成第44-45页
     ·SU-8 光刻胶光刻机理第45页
   ·SU-8 双层工艺第45-47页
   ·三维微结构对细胞生长的影响第47-50页
     ·实验结果第47-48页
     ·微结构对细胞的形态和分布的影响第48页
     ·硅和玻璃基片对细胞增殖的影响第48-50页
   ·结论第50-51页
第五章 结论和展望第51-52页
   ·结论第51页
   ·展望第51-52页
参考文献第52-58页
缩略语第58-59页
附录第59-63页
致谢第63-64页
攻读学位期间发表的学术论文目录第64页

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