微型三轴振动传感器的设计
| 第1章 绪论 | 第1-12页 |
| ·课题的研究背景及意义 | 第9-10页 |
| ·国内外研究动态 | 第10-11页 |
| ·论文研究的内容 | 第11-12页 |
| 第2章 传感器总体设计方案与工作原理 | 第12-26页 |
| ·传感器总体设计 | 第12-14页 |
| ·设计依据 | 第12-13页 |
| ·总体设计方案 | 第13-14页 |
| ·惯性式传感器的力学原理 | 第14-19页 |
| ·阻尼自由振动系统数学模型的建立 | 第14-19页 |
| ·简谐力作用下的强迫振动 | 第19-22页 |
| ·运动方程及其解 | 第19-21页 |
| ·稳态强迫振动 | 第21-22页 |
| ·加速度传感器的频率特性 | 第22-25页 |
| ·加速度传感器的幅频特性 | 第22-24页 |
| ·加速度传感器的相频特性 | 第24-25页 |
| ·本章小结 | 第25-26页 |
| 第3章 微型三轴振动传感器设计 | 第26-41页 |
| ·敏感元件设计 | 第26-34页 |
| ·惯性敏感元件的工作原理 | 第26-28页 |
| ·弹性梁的设计 | 第28-30页 |
| ·应力集中弹性梁的设计 | 第30-31页 |
| ·固有频率与结构尺寸的关系 | 第31-33页 |
| ·弹性元件的变形与传感器的灵敏度 | 第33-34页 |
| ·弹性梁几何尺寸的确定 | 第34页 |
| ·传感器壳体结构的设计 | 第34-35页 |
| ·传感器调理电路设计 | 第35-40页 |
| ·放大与偏置电路的设计 | 第35-38页 |
| ·电桥激励电路的设计 | 第38-39页 |
| ·传感器整体电路的设计 | 第39-40页 |
| ·本章小结 | 第40-41页 |
| 第4章 研制中的关键技术及制造工艺 | 第41-58页 |
| ·应变计的设计与制造 | 第41-51页 |
| ·应变计的技术要求 | 第41页 |
| ·应变计的设计 | 第41-45页 |
| ·应变计的灵敏系数与横向效应 | 第45-51页 |
| ·惯性敏感元件材料的选择及制造工艺 | 第51-54页 |
| ·惯性敏感元件材料的选择 | 第51-52页 |
| ·惯性敏感元件的加工工艺 | 第52页 |
| ·应变计制造中的特殊工艺 | 第52-54页 |
| ·传感器装配工艺 | 第54-57页 |
| ·粘接剂的基本性能要求 | 第54-55页 |
| ·粘接工艺中应注意的问题 | 第55-56页 |
| ·传感器电路制作工艺 | 第56-57页 |
| ·本章小结 | 第57-58页 |
| 第5章 测试标定技术与试验结果 | 第58-64页 |
| ·测试标定系统的组成 | 第58-59页 |
| ·标定系统工作原理 | 第59页 |
| ·传感器性能测试与分析 | 第59-63页 |
| ·传感器灵敏度的测试 | 第59-60页 |
| ·传感器频响的测试 | 第60-61页 |
| ·传感器非线性的测试 | 第61-62页 |
| ·横向灵敏度的测试 | 第62页 |
| ·环境试验 | 第62-63页 |
| ·测试结果分析 | 第63页 |
| ·本章小结 | 第63-64页 |
| 结论 | 第64-65页 |
| 参考文献 | 第65-66页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第66-67页 |
| 致谢 | 第67页 |
