DBD-PECVD法制备CN薄膜的研究

摘要	第1-5页
Abstract	第5-8页
1 绪论	第8-20页
·CN薄膜性质	第8-9页
·CN薄膜的制备方法	第9-12页
·薄膜的表征及等离子体诊断方法简介	第12-17页
·傅立叶变换红外光谱(FTIR)简介	第13页
·沉积速率分析简介	第13-14页
·拉曼光谱(Raman)简介	第14页
·原子力显微镜(AFM)简介	第14-16页
·X射线能谱(XPS)简介	第16-17页
·等离子体诊断方法简介	第17-18页
·选题依据	第18-20页
2 CN薄膜的制备	第20-24页
·实验装置简介	第20-22页
·实验方案及过程简述	第22-24页
3 CN薄膜分析	第24-49页
·不同沉积工艺下CN薄膜的FTIR分析	第24-30页
·不同气体体积分数的FTIR谱图	第24-26页
·不同放电气压下的FTIR谱图	第26-28页
·不同放电频率下的FTIR谱图	第28-30页
·不同沉积工艺下CN薄膜的沉积速率分析	第30-32页
·不同气体体积分数的CN薄膜沉积速率	第30-31页
·不同放电气压下的CN薄膜沉积速率	第31-32页
·不同放电频率下的CN薄膜沉积速率	第32页
·不同放电气压下Raman光谱分析	第32-34页
·不同沉积工艺下CN薄膜的AFM分析	第34-37页
·不同气体体积分数的AFM分析	第34-36页
·不同放电气压下的AFM分析	第36-37页
·不同沉积工艺下CN薄膜的XPS分析	第37-42页
·不同气体体积分数的XPS分析	第37-39页
·不同放电气压下的XPS分析	第39-42页
·不同沉积工艺下CN薄膜的发光光谱分析	第42-49页
·不同气体体积分数的发光光谱分析	第44-46页
·不同放电气压下的发光光谱分析	第46-49页
结论	第49-50页
参考文献	第50-52页
攻读硕士学位期间发表学术论文情况	第52-53页
致谢	第53-54页