基于数字校正和反馈的硅微陀螺测控技术研究
| 摘要 | 第4-5页 |
| Abstract | 第5-6页 |
| 第一章 绪论 | 第9-19页 |
| 1.1 引言 | 第9页 |
| 1.2 课题研究的目的和意义 | 第9-10页 |
| 1.3 硅微陀螺仪测控技术研究现状 | 第10-17页 |
| 1.3.1 硅微陀螺仪信号处理电路研究现状 | 第10-16页 |
| 1.3.2 正交误差校正方法 | 第16-17页 |
| 1.4 课题来源及研究内容 | 第17-19页 |
| 1.4.1 课题来源 | 第17页 |
| 1.4.2 研究内容 | 第17-19页 |
| 第二章 硅微陀螺仪基本理论 | 第19-35页 |
| 2.1 引言 | 第19页 |
| 2.2 硅微机械陀螺仪基本工作原理 | 第19-25页 |
| 2.2.1 双质量硅微机械陀螺仪基本结构 | 第19-20页 |
| 2.2.2 哥氏效应 | 第20-21页 |
| 2.2.3 动力学分析 | 第21-25页 |
| 2.3 硅微陀螺仪驱动和检测方式 | 第25-30页 |
| 2.3.1 静电力驱动 | 第25-28页 |
| 2.3.2 电容检测 | 第28-30页 |
| 2.4 正交误差信号与哥氏信号分离原理 | 第30-31页 |
| 2.5 力反馈机构 | 第31-32页 |
| 2.6 硅微机械陀螺仪数字化测控系统总体架构 | 第32-33页 |
| 2.7 小结 | 第33-35页 |
| 第三章 硅微陀螺数字化正交校正技术研究 | 第35-51页 |
| 3.1 引言 | 第35页 |
| 3.2 正交误差产生机理与危害 | 第35-37页 |
| 3.3 基于力反馈的正交误差校正技术研究 | 第37-42页 |
| 3.3.1 正交力校正回路原理 | 第37-40页 |
| 3.3.2 正交力校正回路设计与仿真分析 | 第40-42页 |
| 3.4 正交刚度校正 | 第42-48页 |
| 3.4.1 正交校正结构分析 | 第42-44页 |
| 3.4.2 正交刚度闭环系统构建 | 第44-45页 |
| 3.4.3 正交刚度校正回路仿真及分析 | 第45-47页 |
| 3.4.4 正交刚度校正对陀螺性能的影响 | 第47-48页 |
| 3.5 正交校正实验测试 | 第48-50页 |
| 3.5.1 正交校正对陀螺输出波形影响 | 第48页 |
| 3.5.2 正交校正对陀螺零偏性能影响 | 第48-50页 |
| 3.6 小结 | 第50-51页 |
| 第四章 数字化力反馈检测技术研究 | 第51-63页 |
| 4.1 引言 | 第51页 |
| 4.2 硅微陀螺仪开环检测技术 | 第51-55页 |
| 4.2.1 开环检测基本原理 | 第51-52页 |
| 4.2.2 开环检测系统性能分析 | 第52-55页 |
| 4.3 硅微陀螺仪闭环检测技术 | 第55-61页 |
| 4.3.1 闭环检测原理 | 第55-56页 |
| 4.3.2 闭环检测性能分析 | 第56-59页 |
| 4.3.3 闭环系统时域仿真 | 第59-61页 |
| 4.4 硅微陀螺仪闭环检测回路测试 | 第61-62页 |
| 4.4.1 闭环检测对陀螺检测输出波形的影响 | 第61页 |
| 4.4.2 闭环检测对陀螺性能的影响 | 第61-62页 |
| 4.5 小结 | 第62-63页 |
| 第五章 硅微陀螺数字化电路设计与整机性能测试 | 第63-75页 |
| 5.1 引言 | 第63页 |
| 5.2 实验样机与测试环境 | 第63-64页 |
| 5.3 基于FPGA算法实现 | 第64-68页 |
| 5.3.1 数字PI控制器 | 第64-65页 |
| 5.3.2 DDS波形产生器实现 | 第65-66页 |
| 5.3.3 IIR低通滤波算法 | 第66-68页 |
| 5.4 硅微陀螺仪数字测控系统性能测试 | 第68-73页 |
| 5.4.1 标度因数相关指标测试 | 第68-69页 |
| 5.4.2 零偏性能测试 | 第69-72页 |
| 5.4.3 带宽测试 | 第72-73页 |
| 5.5 小结 | 第73-75页 |
| 第六章 总结与展望 | 第75-77页 |
| 6.1 论文研究总结 | 第75-76页 |
| 6.2 未来工作展望 | 第76-77页 |
| 致谢 | 第77-79页 |
| 参考文献 | 第79-83页 |
| 攻读硕士学位期间发表的论文 | 第83页 |
