| 摘要 | 第5-6页 |
| abstract | 第6页 |
| 第一章 绪论 | 第10-24页 |
| 1.1 课题研究背景及意义 | 第10-11页 |
| 1.1.1 课题研究意义 | 第10页 |
| 1.1.2 课题研究背景 | 第10-11页 |
| 1.2 国内外研究现状 | 第11-22页 |
| 1.2.1 磁悬浮精密运动平台 | 第11-16页 |
| 1.2.2 永磁体磁场建模 | 第16-20页 |
| 1.2.3 运动控制解耦 | 第20-22页 |
| 1.3 论文的主要工作及结构安排 | 第22-24页 |
| 第二章 音圈电机电磁力建模与误差分析 | 第24-46页 |
| 2.1 音圈电机电磁场建模 | 第24-36页 |
| 2.1.1 麦克斯韦方程 | 第24-25页 |
| 2.1.2 音圈电机工作原理 | 第25-27页 |
| 2.1.3 音圈电机永磁磁钢磁场建模 | 第27-36页 |
| 2.1.3.1 单个永磁长方体磁场解析模型 | 第27-30页 |
| 2.1.3.2 音圈电机永磁磁钢磁场解析模型 | 第30-36页 |
| 2.2 基于ANSOFT的音圈电机电磁力有限元分析 | 第36-42页 |
| 2.2.1 音圈电机的电磁场和电磁力分析 | 第36-37页 |
| 2.2.2 音圈电机安装误差对电磁力影响 | 第37-42页 |
| 2.3 对比分析及实验 | 第42-45页 |
| 2.4 本章小结 | 第45-46页 |
| 第三章 磁悬浮微动台力/矩建模及解耦分析 | 第46-68页 |
| 3.1 硅片台微动台结构 | 第46-47页 |
| 3.2 重力平衡组件磁力误差分析 | 第47-51页 |
| 3.3 磁悬浮微动台理论模型推力分配解耦 | 第51-53页 |
| 3.4 磁悬浮微动台解耦及出力误差分析 | 第53-67页 |
| 3.4.1 开环特性分析 | 第53-64页 |
| 3.4.1.1 单个音圈电机存在水平向位置偏差 | 第53-62页 |
| 3.4.1.2 四个音圈电机存在水平向位置偏差 | 第62-64页 |
| 3.4.2 闭环特性分析 | 第64-67页 |
| 3.5 本章小结 | 第67-68页 |
| 第四章 磁悬浮微动台控制器设计与优化 | 第68-76页 |
| 4.1 磁悬浮微动台性能指标 | 第68-69页 |
| 4.2 磁悬浮微动台控制器设计 | 第69-70页 |
| 4.3 磁悬浮微动台运动控制实验 | 第70-75页 |
| 4.3.1 模型辨识实验 | 第70-72页 |
| 4.3.2 定位与阶跃实验 | 第72-75页 |
| 4.4 本章小结 | 第75-76页 |
| 第五章 基于磁悬浮微动台模型误差的解耦 | 第76-83页 |
| 5.1 基于磁悬浮微动台模型误差的电流分配模型 | 第76-79页 |
| 5.2 电流分配系数的离线计算解耦 | 第79页 |
| 5.3 电流分配系数的在线自适应修正解耦 | 第79-81页 |
| 5.4 本章小结 | 第81-83页 |
| 第六章 结论与展望 | 第83-85页 |
| 6.1 结论 | 第83页 |
| 6.2 展望 | 第83-85页 |
| 致谢 | 第85-86页 |
| 参考文献 | 第86-89页 |