首页--工业技术论文--无线电电子学、电信技术论文--半导体技术论文--一般性问题论文--半导体器件制造工艺及设备论文--光刻、掩膜论文

磁悬浮微动台解耦及控制研究

摘要第5-6页
abstract第6页
第一章 绪论第10-24页
    1.1 课题研究背景及意义第10-11页
        1.1.1 课题研究意义第10页
        1.1.2 课题研究背景第10-11页
    1.2 国内外研究现状第11-22页
        1.2.1 磁悬浮精密运动平台第11-16页
        1.2.2 永磁体磁场建模第16-20页
        1.2.3 运动控制解耦第20-22页
    1.3 论文的主要工作及结构安排第22-24页
第二章 音圈电机电磁力建模与误差分析第24-46页
    2.1 音圈电机电磁场建模第24-36页
        2.1.1 麦克斯韦方程第24-25页
        2.1.2 音圈电机工作原理第25-27页
        2.1.3 音圈电机永磁磁钢磁场建模第27-36页
            2.1.3.1 单个永磁长方体磁场解析模型第27-30页
            2.1.3.2 音圈电机永磁磁钢磁场解析模型第30-36页
    2.2 基于ANSOFT的音圈电机电磁力有限元分析第36-42页
        2.2.1 音圈电机的电磁场和电磁力分析第36-37页
        2.2.2 音圈电机安装误差对电磁力影响第37-42页
    2.3 对比分析及实验第42-45页
    2.4 本章小结第45-46页
第三章 磁悬浮微动台力/矩建模及解耦分析第46-68页
    3.1 硅片台微动台结构第46-47页
    3.2 重力平衡组件磁力误差分析第47-51页
    3.3 磁悬浮微动台理论模型推力分配解耦第51-53页
    3.4 磁悬浮微动台解耦及出力误差分析第53-67页
        3.4.1 开环特性分析第53-64页
            3.4.1.1 单个音圈电机存在水平向位置偏差第53-62页
            3.4.1.2 四个音圈电机存在水平向位置偏差第62-64页
        3.4.2 闭环特性分析第64-67页
    3.5 本章小结第67-68页
第四章 磁悬浮微动台控制器设计与优化第68-76页
    4.1 磁悬浮微动台性能指标第68-69页
    4.2 磁悬浮微动台控制器设计第69-70页
    4.3 磁悬浮微动台运动控制实验第70-75页
        4.3.1 模型辨识实验第70-72页
        4.3.2 定位与阶跃实验第72-75页
    4.4 本章小结第75-76页
第五章 基于磁悬浮微动台模型误差的解耦第76-83页
    5.1 基于磁悬浮微动台模型误差的电流分配模型第76-79页
    5.2 电流分配系数的离线计算解耦第79页
    5.3 电流分配系数的在线自适应修正解耦第79-81页
    5.4 本章小结第81-83页
第六章 结论与展望第83-85页
    6.1 结论第83页
    6.2 展望第83-85页
致谢第85-86页
参考文献第86-89页

论文共89页,点击 下载论文
上一篇:S波段低噪声VCO的研究
下一篇:300GHz滤波器设计与多模带通滤波器结构